[发明专利]一种晶圆精准切割用的硅圆片切割设备及切割方法

权利要求书

1.一种晶圆精准切割用的硅圆片切割设备，其特征在于，包括：

控制模块、与控制模块电性相连的进料装置、切割输送装置、夹持装置、切割平台和激光切割装置；其中

所述切割输送装置位于进料装置的上方，所述夹持装置活动吊装在切割输送装置的上方，所述切割平台活动设置在切割输送装置上，所述激光切割装置活动设置在切割输送装置的上方；

所述夹持装置将进料装置送出的硅圆片转移至切割平台上，所述切割输送装置驱动切割平台移动至激光切割装置的下方，即

所述控制模块驱动激光切割装置按预设切割路径对切割平台上的硅圆片进行切割；以及

所述夹持装置将切割平台上切割完成后的硅圆片转移至出料区域；

所述进料装置包括：进料平台、进料箱、进料气缸、第一输送机构、筛选板、第二输送机构和筛选机构；

所述进料箱纵向设置在进料平台上，且所述进料箱的底部开设有两侧贯通的进料口，所述进料气缸位于进料口的一侧，所述第一输送机构、筛选板、第二输送机构位于进料口的另一侧，所述筛选板位于第一输送机构与第二输送机构之间的下方，所述筛选板上开设有筛选槽，且所述筛选槽与第一输送机构、第二输送机构平行设置，所述筛选机构设置在第一输送机构、筛选板、第二输送机构的上方；

所述进料气缸将进料箱中第一规格或第二规格的硅圆片从进料口推至第一输送机构，所述筛选机构对第一输送机构上硅圆片进行筛选，以使第一规格、第二规格的硅圆片分别从所述第一输送机构的第一出料位置、第二出料位置滑落；

所述进料气缸将进料箱中第三规格的硅圆片从进料口推至第二输送机构，沿所述第二输送机构运动的硅圆片侧翻滑落至筛选槽内，直至抵入所述筛选机构中；

所述筛选机构朝向筛选槽内硅圆片吹出热风，以使硅圆片上晶粒从底片脱落，且当第二规格的硅圆片从所述筛选机构通过时，所述筛选机构对第三规格的硅圆片进行标记，且所述筛选机构打开输送通道以使第三规格的硅圆片沿筛选槽继续移动；

所述筛选机构包括：筛选块、限位块、吹风机和筛选组件；所述筛选块的一端位于第二输送机构的一侧，所述筛选块的另一端设置限位块且位于第一输送机构的上方；所述筛选块的底部对应第一输送机构、筛选槽处分别设置朝下的第一通槽、第二通槽；所述吹风机安装在筛选块上，所述吹风机朝向第二通槽设置；所述筛选组件活动设置在筛选块内且连通第一通槽与第二通槽；第一规格的硅圆片沿所述第一输送机构的输送方向移动，直至抵住所述限位块，即所述限位块引导第一规格的硅圆片朝向第一出料位置移动；第二规格的硅圆片沿所述第一输送机构的输送方向移动，当第二规格的硅圆片从所述第一通槽内通过时，以抵推所述筛选组件对第二通槽内的第三规格的硅圆片标记并打开第二通槽，即第三规格的硅圆片从所述第二通槽通过并沿筛选槽继续移动；

所述筛选组件包括：外套筒、活动弹簧、内套筒、推板、Z形连杆和挡板；所述第一通槽与第二通槽之间开设有活动孔，所述外套筒通过限位弹簧活动设置在活动孔内；所述内套筒通过活动弹簧设置在外套筒内，所述推板固定在内套筒的端部；所述Z形连杆的一端连接推板，所述Z形连杆的另一端连接挡板；所述推板的内侧面设置标记面；所述筛选块内设置有活动腔，所述挡板活动设置在第二通槽与活动腔内；第三规格的硅圆片沿所述筛选槽滑动，直至第三规格的硅圆片抵住所述第二通槽内的挡板，且当第二规格的硅圆片从所述第一通槽内通过时，通过斜面配合抵推所述外套筒，以带动所述推板、Z形连杆及挡板动作，即所述推板通过标记面对第二通槽内的第三规格的硅圆片标记，所述Z形连杆将挡板推入活动腔内，以在所述第二通槽内Z形连杆的下方打开输送通道，第三规格的硅圆片沿所述筛选槽从输送通道中穿过；

所述挡板上开设有限位槽；所述活动腔内设置有储液筒，所述储液筒开设有风道，所述风道的一侧连接气泵，所述风道的另一道连通第二通槽；所述风道内设置有蝶阀，所述蝶阀与第一触发杆活动连接，所述第一触发杆的底部位于活动腔内；所述风道与储液筒之间开设有安装腔，所述安装腔内活动设置活动板，所活动板通过套簧活动连接安装腔的顶部，所述安装腔的顶部活动设置有浮板；所述活动板的底部连接第二触发杆，所述第二触发杆的底部位于活动腔内，所述第二触发杆内开设有工形气道；第三规格的硅圆片抵住所述挡板，且当第二规格的硅圆片从所述第一通槽内通过时，所述挡板被推入活动腔内，直至所述挡板抵推第二触发杆抬起，即所述工形气道被打开，所述风道向储液筒内鼓入气体以搅动墨液；当第二规格的硅圆片从所述第一通槽内通过时，所述挡板被推入活动腔内，直至所述挡板抵推第一触发杆抬起，即所述蝶阀被打开，所述风道向第二通槽内吹气，进而吹扫所述第一输送机构上的硅圆片。