[发明专利]一种可去除氢氖的氦气提纯系统

权利要求书

1.一种可去除氢氖的氦气提纯系统，其特征在于：包括前处理装置、真空容器、一级提纯装置和二级提纯装置，所述真空容器内设置有相互连通的一级提纯装置和二级提纯装置，设置在真空容器外部的前处理装置的输出端连接一级提纯装置；

所述一级提纯装置包括液氮容器、一级换热器、冷凝设备和一级低温吸附装置，所述液氮容器设置在真空容器内，所述液氮容器内设置有一级换热器、冷凝设备和一级低温吸附装置，所述前处理装置的输出端连接所述一级换热器的热介质进口，所述一级换热器的热介质出口通过冷凝设备连接一级低温吸附装置，所述一级低温吸附装置的输出端连接所述二级提纯装置；

所述二级提纯装置包括二级换热器、冷头换热器、GM制冷机和二级低温吸附装置，所述二级换热器的热介质进口连接一级低温吸附装置输出端，所述二级换热器的热介质出口通过冷头换热器连接所述二级低温吸附装置输入端，固定在真空容器外部的GM制冷机输入端连接所述冷头换热器为其提供冷源，所述二级低温吸附装置的输出端连接所述二级换热器的冷介质进口，所述二级换热器的冷介质出口连接所述一级换热器的冷介质进口，所述一级换热器的冷介质出口用于排出纯化后的氦气。

2.根据权利要求1所述的一种可去除氢氖的氦气提纯系统，其特征在于：所述前处理装置包括储气设备、除油器和干燥器，所述储气设备、除油器和干燥器依次连接，所述干燥器的输出端连接所述一级换热器的热介质进口。

3.根据权利要求1所述的一种可去除氢氖的氦气提纯系统，其特征在于：所述液氮容器还连接真空容器外部的液氮输入管和第一液氮输出管。

4.根据权利要求1所述的一种可去除氢氖的氦气提纯系统，其特征在于：所述冷凝设备还连接真空容器外部的第二液氮输出管。

5.根据权利要求1所述的一种可去除氢氖的氦气提纯系统，其特征在于：所述液氮容器外壁还包裹有保温层。

6.根据权利要求1所述的一种可去除氢氖的氦气提纯系统，其特征在于：所述一级换热器和二级换热器均为套管式换热器。

7.根据权利要求1所述的一种可去除氢氖的氦气提纯系统，其特征在于：所述冷头换热器为肋片换热器。