[发明专利]光学组件及光电异质集成方法

权利要求书

1.一种光学组件，其包括：

第一器件，其包括第一波导；

第二器件，其包括第二波导；以及

位于所述第一波导和所述第二波导之间的第三波导，

其中，所述第一器件与所述第二器件通过所述第一波导的第一表面的第二区域的至少一部分与所述第二波导的第二表面的第三区域耦接，使得光能够通过所述第一波导和所述第三波导经由倏逝波耦合传输到所述第二波导，其中所述第三区域沿着所述第一波导的长度方向包括：具有第四宽度的第四区域，其中所述第四宽度与所述第二区域的所述至少一部分的宽度相当使得所述第一波导与所述第二波导能够对准安置。

2.根据权利要求1所述的光学组件，其中所述第三区域还包括位于所述第四区域左边的一或多个第二子区域，其中所述第二子区域的宽度沿着所述波导的长度方向渐增。

3.根据权利要求1所述的光学组件，其还包括位于所述第一器件和所述第二器件之间的介质辅助层。

4.根据权利要求1所述的光学组件，其中所述第一器件是有源器件，所述第二器件是无源器件。

5.根据权利要求1所述的光学组件，其中所述第一器件包括以下器件中的至少一者：激光器、光放大器以及光探测器。

6.根据权利要求1所述的光学组件，其中所述第一波导是InGaAsP波导。

7.根据权利要求1所述的光学组件，其中所述第二波导是铌酸锂波导。

8.根据权利要求1所述的光学组件，其中所述第三波导是非晶硅波导。

9.根据权利要求1所述的光学组件，其中所述第一器件还包括位于所述第一波导与所述第三波导之间的上包层。

10.根据权利要求9所述的光学组件，其中所述上包层与所述第三波导相对的表面沿着所述第一波导的长度方向厚度逐渐变薄使得光能够通过所述第一波导经由倏逝波耦合传输到所述第三波导。