[发明专利]菲索干涉型波长计中柱面成像压缩系统的匹配调试方法

权利要求书

1.一种菲索干涉型波长计中柱面成像压缩系统的匹配调试方法，其特征在于，所述菲索干涉型波长计包括入射光纤、准直镜、平面镜、菲索干涉模块、柱面镜和线阵CCD；所述匹配调试方式包括以下步骤：

第一步：匹配柱面镜和线阵CCD；

第二步：匹配菲索干涉模块和柱面镜与线阵CCD的整体。

2.如权利要求1所述的菲索干涉型波长计中柱面成像压缩系统的匹配调试方法，其特征在于，所述菲索干涉型波长计中，入射光纤的输出端口位于准直镜的焦面处，待测激光经入射光纤传输至入射光纤的输出端口处，待测激光经过入射光纤输出端口之后，待测激光以发散角α传输，发散待测激光经准直镜整形为平行光束，平行光束经过平面镜折转之后入射到菲索干涉模块，经过菲索干涉模块形成明暗干涉条纹沿纵向延伸的宽带干涉条纹，宽带干涉条纹的宽度小于或者等于菲索干涉模块的干涉腔体的宽度，宽带干涉条纹经柱面镜沿横向压缩之后，到达线阵CCD光敏面，形成窄带干涉条纹，窄带干涉条纹横向宽度小于或者等于CCD光敏面横向宽度，窄带干涉条纹被线阵CCD探测接收。

3.如权利要求2所述的菲索干涉型波长计中柱面成像压缩系统的匹配调试方法，其特征在于，所述菲索干涉模块、柱面镜和线阵CCD组成柱面成像压缩系统，第一步中，匹配柱面镜和线阵CCD时，固定柱面镜和线阵CCD中的其中一个，对另一个从高低、左右、前后、方位、俯仰、横滚六维进行调节，观察线阵CCD输出至所连接的示波器的波形，当输出波形接近直线且信号的幅值最大时，完成柱面镜和线阵CCD的匹配。

4.如权利要求3所述的菲索干涉型波长计中柱面成像压缩系统的匹配调试方法，其特征在于，第一步中，匹配柱面镜和线阵CCD时，固定柱面镜，将菲索干涉模块移出光路，柱面镜把平行光束横向压缩为一窄带光束，先将线阵CCD光敏面纵向和窄带光束纵向保持一致，先调节线阵CCD的高低、左右、前后位置，使线阵CCD的总输出信号最大，然后调节线阵CCD的横滚方向，用示波器观察线阵CCD的输出波形，当线阵CCD光敏面纵向和窄带光束纵向不一致时，示波器上的输出为高低起伏超过设定阈值的波形；当线阵CCD光敏面纵向和窄带光束纵向一致时，示波器上的输出为接近直线的波形；然后微调线阵CCD方位和俯仰，使线阵CCD的输出波形电压最大，至此，柱面镜和线阵CCD匹配完毕，固定柱面镜和线阵CCD。

5.如权利要求4所述的菲索干涉型波长计中柱面成像压缩系统的匹配调试方法，其特征在于，第二步中，将柱面镜和线阵CCD作为整体和菲索干涉模块进行匹配时，将菲索干涉模块移入光路，菲索干涉模块具备方位、俯仰和横滚调节能力，调节菲索干涉模块的横滚方向，同时观察线阵CCD的输出波形，输出波形占空比接近1:1时，横滚调节完成；然后调节干涉仪模块的方位和俯仰，调到信号峰谷值最大为止，固定菲索干涉模块；至此，柱面镜、线阵CCD和干涉仪模块三者匹配完毕。

6.如权利要求5所述的菲索干涉型波长计中柱面成像压缩系统的匹配调试方法，其特征在于，所述菲索干涉模块包括干涉腔体、保护玻璃和机械壳体；干涉腔体被保护玻璃环形包裹，保护玻璃被机械壳体环形包裹。

7.如权利要求6所述的菲索干涉型波长计中柱面成像压缩系统的匹配调试方法，其特征在于，所述机械壳体为圆环柱体，经菲索干涉模块之后形成的宽带干涉条纹宽度小于或者等于菲索干涉模块的干涉腔体的宽度。

8.如权利要求7所述的菲索干涉型波长计中柱面成像压缩系统的匹配调试方法，其特征在于，第一步中，示波器7输出接近三角波的波形时，经过柱面镜压缩之后的窄带光束纵向和CCD光敏面纵向有夹角，柱面镜和线阵CCD匹配不佳。

9.如权利要求8所述的菲索干涉型波长计中柱面成像压缩系统的匹配调试方法，其特征在于，第二步中，菲索干涉模块的干涉腔体长度方向与柱面镜和线阵CCD6整体的光敏面长度方向不平行时，经过菲索干涉模块之后的宽带干涉条纹相对于柱面镜宽度方向倾斜，示波器7的输出波形占空比远离1:1。

10.一种基于权利要求1-9中任一项所述的菲索干涉型波长计中柱面成像压缩系统的匹配调试方法在光学计量测试技术领域中的应用。