[发明专利]基于钕铁硼PVD镀膜的晶界扩散系统及方法有效

专利信息
申请号: 202210457441.9 申请日: 2022-04-27
公开(公告)号: CN114855141B 公开(公告)日: 2023-10-24
发明(设计)人: 赵宇;胡金辉;冯建涛;王栋;李欢;卓宇 申请(专利权)人: 杭州永磁集团振泽磁业有限公司
主分类号: C23C14/58 分类号: C23C14/58;H01F41/02
代理公司: 杭州融方专利代理事务所(普通合伙) 33266 代理人: 沈相权
地址: 311215 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 基于 钕铁硼 pvd 镀膜 扩散 系统 方法
【说明书】:

发明公开了基于钕铁硼PVD镀膜的晶界扩散系统及方法,所述挂杆的内壁对称固定套接有套环,所述第二挤压杆和第一挤压杆相对的一端固定连接有磁铁,所述滑动块、挂杆和套环的内腔滑动套接有第二挤压杆,所述第二挤压杆的底部和挂杆的内腔之间固定连接有第二弹簧,所述挂钩的内腔转动套接有转动轴,且转动轴的两端贯穿挂钩的内壁,并固定连接有限位杆,所述转动轴中间的表面缠绕有钢丝绳,所述转动轴的表面与挂钩的内壁之间对称固定连接有涡旋弹簧,本发明涉及钕铁硼镀膜技术领域。该基于钕铁硼PVD镀膜的晶界扩散系统及方法,解决对无法进行挂住的钕铁硼镀膜时,需要跟换相匹配的挂杆进行夹持,使其在更换时比较麻烦的问题。

技术领域

本发明涉及钕铁硼镀膜技术领域,具体为基于钕铁硼PVD镀膜的晶界扩散系统及方法。

背景技术

钕铁硼也称为钕铁硼磁铁,是由钕、铁、硼(Nd2Fe14B)形成的四方晶系晶体。这种磁铁的磁能积(BHmax)大于钐钴磁铁,是当时全世界磁能积最大的物质。后来,住友特殊金属成功发展粉末冶金法,通用汽车公司成功发展旋喷熔炼法(melt-spinning process),能够制备钕铁硼磁铁。这种磁铁是现今磁性仅次于绝对零度钬磁铁的永久磁铁,也是最常使用的稀土磁铁。钕铁硼磁铁被广泛地应用于电子产品,例如硬盘、手机、耳机以及用电池供电的工具等。

其中PVD镀膜为物理气相沉积:指利用物理过程实现物质转移,将原子或分子由源转移到基材表面上的过程。它的作用是可以使某些有特殊性能(强度高、耐磨性、散热性、耐腐性等)的微粒喷涂在性能较低的母体上,使得母体具有更好的性能。PVD基本方法:真空蒸发、溅射、离子镀(空心阴极离子镀、热阴极离子镀、电弧离子镀、活性反应离子镀、射频离子镀、直流放电离子镀),钕铁硼在进行PVD镀膜时(即为表面晶界),都是通过真空离子镀膜机进行镀膜,但现有的镀膜机都是将多个钕铁硼挂在挂杆表面设置的挂钩上,导致在对无法进行挂住的钕铁硼继续镀膜时,需要跟换相匹配的挂杆进行夹持,使其在更换时比较麻烦的问题。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足,本发明提供了基于钕铁硼PVD镀膜的晶界扩散系统及方法,解决了现有的镀膜机都是将多个钕铁硼挂在挂杆表面设置的挂钩上,导致在对无法进行挂住的钕铁硼继续镀膜时,需要跟换相匹配的挂杆进行夹持,使其在更换时比较麻烦的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的,本发明通过以下技术方案予以实现:基于钕铁硼PVD 镀膜的晶界扩散系统,包括镀膜机,所述镀膜机的内腔设置有上料装置。

所述上料装置包括转动板、伺服电机和转动套板,所述伺服电机的输出端固定连接有第二转动杆,所述第二转动杆的表面对称固定连接有连接杆,所述转动板的顶部对称固定连通有转动套,所述转动套的内腔转动套接有第一转动杆,所述第一转动杆的顶部固定套接有第一齿轮,所述第一转动杆的内腔滑动套接有第一挤压杆,所述转动套板的顶部对称固定套接有气缸,且气缸的伸出端与第一挤压杆的一端固定连接,所述转动板的顶部转动套接有第二齿轮,所述第二齿轮的顶部对称固定连接有支撑柱,所述第一转动杆的底部滑动套接有滑动块,所述滑动块的表面对称通过第一弹簧活动套接有限位块,所述滑动块的底部固定连接有挂杆,所述挂杆的表面对称固定连接有挂钩。

所述挂杆的内壁对称固定套接有套环,所述第二挤压杆和第一挤压杆相对的一端固定连接有磁铁,所述滑动块、挂杆和套环的内腔滑动套接有第二挤压杆,所述第二挤压杆的底部和挂杆的内腔之间固定连接有第二弹簧,所述挂钩的内腔转动套接有转动轴,且转动轴的两端贯穿挂钩的内壁,并固定连接有限位杆,所述转动轴中间的表面缠绕有钢丝绳,所述转动轴的表面与挂钩的内壁之间对称固定连接有涡旋弹簧。

优选的,所述钢丝绳的一端贯穿挂杆的表面,并固定连接在第二挤压杆的表面上,所述第一转动杆和挂杆大小相同。

优选的,所述滑动块的表面与第一转动杆底部卡开设的凹槽相互吻合,且限位块插合在第一转动杆底部的凹槽中。

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