[发明专利]磨削磨轮用治具和磨削磨轮用盒

说明书

本发明提供磨削磨轮用治具和磨削磨轮用盒，在将磨削磨轮安装于安装座时能够从安装座的下方插入螺栓。磨削磨轮用治具在将磨削磨轮向圆板状的安装座的下表面侧进行安装时使用，该磨削磨轮具有配置于圆环状的基台的一个面侧的环状的磨具部，该安装座安装在主轴的下端部，该磨削磨轮用治具具有：有底圆筒状的磨具收纳部，其收纳环状的磨具部；圆环状的基台收纳部，其在磨具收纳部的高度方向上位于与磨具收纳部的底部相反的一侧，具有比磨具收纳部的外径大的外径，能够收纳基台的至少一部分；和圆筒状的多个螺栓收纳部，该多个螺栓收纳部分别设置于基台收纳部的底部，能够收纳螺栓的头部，各螺栓收纳部在底部具有能够向螺栓的头部插入紧固工具的开口。

技术领域

本发明涉及在安装于主轴的下端部的圆板状的安装座的下表面侧安装磨削磨轮时所使用的磨削磨轮用治具以及收纳磨削磨轮的磨削磨轮盒。

背景技术

在对硅晶片等被加工物进行磨削时，使用磨削装置。磨削装置具有包含圆柱状的主轴的磨削单元。主轴例如配置成与铅垂方向大致平行，在主轴的下端部固定有圆板状的安装座(磨轮安装座)。在安装座的下表面侧安装有圆环状的磨削磨轮。

在对被加工物的整个背面侧(即与形成有器件的正面相反的一侧)进行磨削时所使用的通常的磨削装置中，具有圆环状的基台(磨轮基台)的通常的磨削磨轮安装于上述的安装座。

在安装座的外周部，沿着安装座的周向设置有多个贯通孔，在通常的磨削磨轮的基台的一个面侧(即与设置有磨削磨具的另一个面相反的一侧)的外周部，按照与各贯通孔对应的方式，沿着基台的周向设置有多个螺纹孔。

在将通常的磨削磨轮安装于安装座时，从安装座的上方将螺栓插入安装座的各贯通孔，使各螺栓的下端部紧固于磨削磨轮的螺纹孔。另外，在从磨削磨轮取下安装座时，从安装座的上方取下各螺栓。

已知在相对于安装座装卸这样的通常的磨削磨轮时，为了对磨削磨具等进行保护而使用治具，该治具具有能够将磨削磨轮的侧部和下部的整体包覆的环状的凹部(例如参照专利文献1)。

另外，已知有被称为TAIKO(注册商标)的磨削：对与设置在被加工物的正面侧的器件区域对应的被加工物的背面侧中的圆形的规定区域进行磨削，但不磨削背面侧的外周部而使其残留，由此在背面侧形成圆板状的凹部。在进行该磨削的情况下，使用与通常的磨削装置不同的专用的磨削装置。

在该专用的磨削装置中，在安装座的下表面侧的外周部，沿着安装座的周向设置有多个螺纹孔。另外，安装于安装座的磨削磨轮的基台(磨轮基台)具有圆环状的凸缘，在凸缘的下表面侧的外周部，沿着凸缘的周向设置有多个贯通孔。

在凸缘的下表面侧，在比多个贯通孔靠凸缘的中心侧的位置，与凸缘呈大致同心状地固定有直径比凸缘小的圆环状的磨具被安装部。在磨具被安装部的下表面侧，沿着基台的周向配置有分别为区段状的多个磨削磨具。

在将这样的磨削磨轮安装于安装座时，首先在安装座的下方配置磨削磨轮，使凸缘的贯通孔与安装座的螺纹孔对位。在该状态下，从凸缘的下表面侧向安装座插入螺栓，使各螺栓紧固于安装座的螺纹孔。

专利文献1：日本特开2011-121128号公报

但是，当使用与通常的磨削磨轮用的治具同样地将磨削磨轮的侧部和下部的整体覆盖的治具时，即使想要从安装座的下方将螺栓插入贯通孔和螺纹孔，螺栓的插入会被治具遮挡。

另一方面，在未使用治具的情况下，存在作业者的手与磨削磨具接触而使作业者受伤的可能性或由于工具的接触而使磨削磨具损伤的可能性。另外，还存在附着于磨削磨具等的磨削屑落下而污染磨削装置的内部的可能性。

发明内容

本发明是鉴于该问题点而完成的，其目的在于提供在将磨削磨轮安装于安装座时能够从安装座的下方插入螺栓的磨削磨轮用治具。