[发明专利]一种数码可控打印ITO纳米导线的方法在审

专利信息
申请号: 202210418781.0 申请日: 2022-04-20
公开(公告)号: CN114735942A 公开(公告)日: 2022-07-12
发明(设计)人: 徐文涛;屈尚达;孙林 申请(专利权)人: 南开大学
主分类号: C03C17/23 分类号: C03C17/23;C04B41/87;C04B35/453;C04B35/622;B28B1/00;B33Y10/00;B33Y70/10;B33Y80/00;B82Y30/00
代理公司: 天津翰林知识产权代理事务所(普通合伙) 12210 代理人: 赵凤英
地址: 300350 天津*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 一种 数码 可控 打印 ito 纳米 导线 方法
【说明书】:

发明为一种数码可控打印ITO纳米导线的方法。该方法以N,N‑二甲基甲酰胺和无水乙醇为混合溶剂,溶解聚乙烯吡咯烷酮、硝酸铟水合物及氯化亚锡二水合物制得前驱体溶液,然后利用电流体打印设备打印出ITO纳米导线阵列,最后经过一步高温退火,直接得到ITO纳米导线。本发明制备的ITO纳米导线,不仅具有低成本、高产率、节能环保、工艺简单、操作简便、适宜大规模制备等优点,而且所制备的ITO纳米导线化学稳定性好、尺寸可调、可以有序排列,适用于传感、光伏、电子和信息等多个领域。

技术领域

本发明涉及一种数码可控打印ITO纳米导线的方法,属于先进材料制造领域。

背景技术

氧化铟锡(ITO)作为一种宽带隙(3.5-4.3eV)半导体具有良好的化学稳定性和导电性、较高的透明度以及耐酸碱腐蚀等优点,被广泛应用在传感、光伏、电子和信息等多个领域。通常,传统的ITO导电电极采用溅射、电子束蒸发等工艺制备而得,不仅设备昂贵、耗能高,而且ITO靶材的利用率低,存在稀有金属元素铟(In)的浪费。为了解决上述问题,人们开始采用静电纺丝的方法合成具有良好电导率的ITO一维纳米线,并应用于制备传感器等电子器件。然而,传统静电纺丝的方法制备的ITO一维纳米线杂乱无章,无序排列,未能挖掘无机纳米线克服传统光刻方法局限性的潜力。目前,还没有成熟的技术用来制备长度、方向、位置和数量等可控,能够大规模对齐的ITO纳米线阵列。综上所述,为了实现低成本、高产率、节能环保地制备大规模尺寸可调、有序排列的ITO纳米线阵列,亟需一种新的制备方法。

基于以上问题,本发明通过电流体打印技术制备ITO纳米导线,将功能性ITO前驱体直接打印到衬底上制备电子元器件和电路,不仅工艺简单、操作简便,具有低成本、高产率和节能环保等优点,还实现了纳米线的大规模尺寸可调和有序排列,充分挖掘了无机纳米线在克服传统光刻方法局限性的潜力。

发明内容

针对现有技术的不足,本发明提供了一种数码可控打印ITO纳米导线的方法;该方法以N,N-二甲基甲酰胺和无水乙醇为混合溶剂,溶解聚乙烯吡咯烷酮、硝酸铟水合物及氯化亚锡二水合物制得前驱体溶液,然后利用电流体打印设备打印出ITO纳米导线阵列,最后经过一步高温退火,直接得到ITO纳米导线。本发明方法制备ITO纳米导线,不仅具有低成本、高产率、节能环保、工艺简单、操作简便、适宜大规模制备等优点,而且所制备的ITO纳米导线化学稳定性好、尺寸可调、可以有序排列,克服了现有技术制备纳米导线成本高、产率低、工艺复杂和环境不友好等缺点,适用于传感、光伏、电子和信息等多个领域。

本发明的技术方案如下:

一种数码可控打印ITO纳米导线的方法,具体步骤如下:

(1)N,N-二甲基甲酰胺和无水乙醇混合,配置混合溶剂;

其中,质量比N,N-二甲基甲酰胺:无水乙醇=1~20:1;

(2)将聚乙烯吡咯烷酮、硝酸铟水合物及氯化亚锡二水合物溶于混合溶剂中,在20~70℃温度条件下搅拌0.5~24小时,配置打印所用前驱体溶液;

其中,质量比聚乙烯吡咯烷酮:硝酸铟水合物=1:1~4,氯化亚锡二水合物:硝酸铟水合物=1:1~20,前驱体溶液中聚乙烯吡咯烷酮的质量浓度为5%~20%;

(3)利用电流体打印机,将前驱体溶液打印为纳米线;

其中,在注射器针头上施加0.5~3kV的高电压,将注射器针头到基板的距离设置为0.5~8mm,注射器的出液流量设置为1~250nL/min,基板的移动速度设置为50~1000mm/s;

(4)将打印所得的纳米线在空气气氛中300~700℃温度条件下高温退火30~240min,最终得到ITO纳米导线。

所述ITO纳米导线的直径为100~6000nm,长度为0.01~20cm。多条纳米线之间的间距为10~2000μm。

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