[发明专利]一种低漏电耐高温陶瓷刀片测试探针

权利要求书

1.一种低漏电耐高温陶瓷刀片测试探针，其特征在于：包括陶瓷刀片基底，所述陶瓷刀片基底的正面设置有第一铜衬底，所述第一铜衬底表面镀有金层形成第一覆金层，所述第一覆金层包括覆金引线和覆金焊盘，所述覆金焊盘设置在所述陶瓷刀片基底的前端、并通过耐高温材料焊接有铼钨针并实现电性连接，所述覆金引线从所述陶瓷刀片基底前端布置到其尾端实现信号传输。

2.如权利要求1所述的一种低漏电耐高温陶瓷刀片测试探针，其特征在于：所述陶瓷刀片基底采用L型陶瓷刀片基底。

3.如权利要求1所述的一种低漏电耐高温陶瓷刀片测试探针，其特征在于：所述覆金引线沿所述陶瓷刀片基底的中间布置。

4.如权利要求1所述的一种低漏电耐高温陶瓷刀片测试探针，其特征在于：所述陶瓷刀片基底的厚度为100μm～600μm。

5.如权利要求1所述的一种低漏电耐高温陶瓷刀片测试探针，其特征在于：所述第一铜衬底的厚度为10nm～200nm。

6.如权利要求1所述的一种低漏电耐高温陶瓷刀片测试探针，其特征在于：所述第一覆金层的厚度为10nm～200nm。

7.如权利要求1-6任一权利要求所述的一种低漏电耐高温陶瓷刀片测试探针，其特征在于：所述陶瓷刀片基底的背面还设置有第二铜衬底，所述第二铜衬底表面也镀金形成第二覆金层。

8.如权利要求6所述的一种低漏电耐高温陶瓷刀片测试探针，其特征在于：所述第二铜衬底的厚度为10nm～200nm，所述第二覆金层的厚度为10nm～200nm。

9.如权利要求7所述的一种低漏电耐高温陶瓷刀片测试探针，其特征在于：所述铼钨针包括针杆和其前端的针尖，所述针杆和所述针尖成弯角，其弯角角度为95°～135°。

10.如权利要求9所述的一种低漏电耐高温陶瓷刀片测试探针，其特征在于：所述针尖尖经小于10μm。