[发明专利]一种Al-Ti-C-N纳米晶的制备方法及在铝合金中的应用有效
| 申请号: | 202210404249.3 | 申请日: | 2022-04-18 |
| 公开(公告)号: | CN114606461B | 公开(公告)日: | 2023-02-28 |
| 发明(设计)人: | 赵愈亮;宋东福;乡家发;卢剑玉;贾义旺;孙振忠;黄石平 | 申请(专利权)人: | 东莞理工学院;肇庆南都再生铝业有限公司;广东省科学院新材料研究所 |
| 主分类号: | C23C14/00 | 分类号: | C23C14/00;C23C14/06;C23C14/32;C22C21/00 |
| 代理公司: | 北京高航知识产权代理有限公司 11530 | 代理人: | 刘艳玲 |
| 地址: | 523808 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 al ti 纳米 制备 方法 铝合金 中的 应用 | ||
1.一种Al-Ti-C-N纳米晶的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)衬底材料的安装:将衬底材料安装夹具上,并放置在真空镀膜室中;
(2)预处理:依次开启抽真空系统、加热系统和机械传动系统,真空室抽真空并升温,随后充入高纯氩气,开启脉冲偏压,放电清洗;
(3)多弧离子镀:充入反应气体,设置靶材,打开弧源,设置参数后进行镀膜,得到Al-Ti-C-N纳米晶;
所述步骤(3)中,靶材是纯度为95.0%以上的纯钛靶、钛铝靶中的至少一种;
所述步骤(3)中,反应气体为C2H2和N2的混合气体,C2H2和N2的体积比为10:0.1;
所述步骤(3)中,衬底为泡沫铝、铝箔卷中的一种或两种;
所述Al-Ti-C-N纳米晶用于铝合金材料的晶粒细化剂;
所述步骤(2)中,真空室的气压抽至1~5×10-3Pa,真空室的温度为100~200℃;充入高纯氩气后调整氩气压力至1~5Pa;
所述步骤(2)中,开启脉冲偏压后,调整占空比为10~30%,偏压为-600~-1500V,放电清洗1~3min;
所述步骤(3)中,充入反应气体前,调整氩气压力至1~3×10-1Pa;充入反应气体后,调整气压至5~9×10-1Pa;
所述步骤(3)中,脉冲偏压设置偏压占空比为30~60%,偏压-600~-2000V,电弧电流为60~120A,镀膜时间15~120min;
所述步骤(3)中,多弧离子镀过程中,铝箔的两端固定在不同的转动轴上,并以沿着夹具半径自转,实现铝箔的卷镀;
所述Al-Ti-C-N纳米晶应用于铝合金材料中。
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