[发明专利]过渡金属硫族化合物的层数确定方法在审

专利信息
申请号: 202210379738.8 申请日: 2022-04-12
公开(公告)号: CN114923879A 公开(公告)日: 2022-08-19
发明(设计)人: 邹波;孙华锐;周宇 申请(专利权)人: 哈尔滨工业大学(深圳)
主分类号: G01N21/47 分类号: G01N21/47
代理公司: 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 代理人: 田甜
地址: 518000 广东省深圳市南*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 过渡 金属 化合物 层数 确定 方法
【权利要求书】:

1.一种过渡金属硫族化合物的层数确定方法,其特征在于,包括以下步骤:

选取层数不同的15个检测区域,每个所述检测区域的层数在1-15之间;

获取相同光强下与各个所述检测区域的白光反射谱;

根据各个所述白光反射谱确定每个所述检测区域的第一反射峰强度和/或第二反射峰强度;所述第一反射峰强度为与C激子相对应的反射峰的强度,所述第二反射峰强度为与波长在570nm-620nm之间的LED白光光源相对应的反射峰的强度;

获取各个所述检测区域的层数;

确定所有所述检测区域的层数与所述第一反射峰强度和/或所述第二反射峰强度的对应关系;

根据所述对应关系以及待检测样品的白光反射谱确定待检测样品的层数。

2.如权利要求1所述的过渡金属硫族化合物的层数确定方法,其特征在于,所述确定所有所述检测区域的层数与所述第一反射峰强度和/或所述第二反射峰强度的对应关系,包括以下步骤:

获取所述第一反射峰强度和所述第二反射峰强度分别随所述检测区域的层数变化的变化关系;

根据所述变化关系确定所述第一反射峰强度与所述检测区域的层数呈线性变化的临界层数值n;

建立层数小于等于n的所述检测区域的层数与所述第二反射峰强度的对应关系;

建立层数大于等于n的所述检测区域的层数与所述第一反射峰强度的对应关系。

3.如权利要求2所述的过渡金属硫族化合物的层数确定方法,其特征在于,所述过渡金属硫族化合物的层数确定方法,还包括位于所述确定所有所述检测区域的层数与所述第一反射峰强度和/或所述第二反射峰强度的对应关系、和所述根据所述对应关系以及待检测样品的白光反射谱确定待检测样品的层数之间的以下步骤:

根据所述第一反射峰强度与所述检测区域的层数之间的线性关系推导得出15-30层之间的层数与所述第一反射峰强度的对应关系。

4.如权利要求3所述的过渡金属硫族化合物的层数确定方法,其特征在于,所述根据所述第一反射峰强度与所述检测区域的层数之间的线性关系推导得出15-30层之间的层数与所述第一反射峰强度的对应关系,包括以下步骤:

根据所有所述检测区域的层数与所述第一反射峰强度的数据拟合两者之间的曲线图;

获取所述曲线图中直线部分的曲线参数,所述曲线参数包括曲线斜率;

根据所述曲线参数,得出层数与所述第一反射峰强度之间的线性关系式;

根据所述线性关系式推导得出15-30层之间的层数与所述第一反射峰强度的对应关系。

5.如权利要求1-4任一项所述的过渡金属硫族化合物的层数确定方法,其特征在于,所述根据所述对应关系以及待检测样品的白光反射谱确定待检测样品的层数,包括以下步骤:

根据所述对应关系建立层数与相应反射峰强度的数据库;

根据待检测样品的白光反射谱中的相应反射峰强度以及所述数据库,查找得出待检测样品的层数。

6.如权利要求1-4任一项所述的过渡金属硫族化合物的层数确定方法,其特征在于,所述过渡金属硫族化合物的层数确定方法还包括位于所述选取15个检测区域之前的以下步骤:

通过金膜辅助剥离技术制备过渡金属硫族化合物膜体;

从所述过渡金属硫族化合物膜体中选取多个所述检测区域。

7.如权利要求6所述的过渡金属硫族化合物的层数确定方法,其特征在于,所述通过金膜辅助剥离技术制备过渡金属硫族化合物膜体包括以下步骤:

提供硅衬底;

在所述硅衬底上制备钛粘结层;

在所述钛粘结层上制备金膜;

在所述金膜上制备过渡金属硫族化合物膜体。

8.如权利要求7所述的过渡金属硫族化合物的层数确定方法,其特征在于,所述在所述金膜上制备过渡金属硫族化合物膜体包括以下步骤:

提供过渡金属硫族化合物晶体;

将所述过渡金属硫族化合物晶体压在所述金膜表面,形成组合物;

将上述组合物在180℃下退火60秒,然后取出冷却10-20秒。

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