[发明专利]电子级六氟化硫碱洗装置及其控制方法

权利要求书

1.一种电子级六氟化硫碱洗装置，其特征在于，包括多级串联的碱洗塔；

一级碱洗塔连接循环管路R；最后一级碱洗塔连接外部循环管路Q；所述循环管路R及所述循环管路Q之间形成回路，且所述回路还设置第一再生搅拌罐（23）；所述第一再生搅拌罐（23）用于去除碱液中的硫酸根、亚硫酸根离子以及氟离子；其中，所述第一再生搅拌罐（23）用于加入CaCl₂以去硫酸根、亚硫酸根离子及F^-离子，CaCl₂的添加量为理论添加值的99~95wt%；

每一碱洗塔包括设置于底部的第二容置腔（218）以及顶部的第二喷淋单元（219），每一碱洗塔还包括设置于所述第二喷淋单元（219）底部的第二进气口（211），设置于所述第二喷淋单元（219）顶部的第二出气口（212）、设置于所述第二容置腔（218）顶部的第二补液口（213），设置于所述第二容置腔（218）底部的第二出液口（214）、设置于所述第二出液口（214）上的第二抽液泵（216）、设置于所述第二喷淋单元（219）顶部且与所述第二抽液泵（216）联通的喷淋口（215）、以及用于检测所述喷淋口（215）液体浓度的检测单元（217）；所述第二喷淋单元（219）内部设置多个缓流管道（2190），每一缓流管道沿其高度方向设置多个缓流腔（2191），所述缓流腔（2191）交错设置形成流动通道，所述缓流腔（2191）为耳蜗状缓流结构，且沿竖直方向排列成两排，其中一排的耳蜗状缓流结构顶部正对另一排耳蜗状缓流结构的中部。

2.如权利要求1所述的电子级六氟化硫碱洗装置，其特征在于，一级碱洗塔的第二抽液泵（216）连接所述循环管路R；后一级碱洗塔的第二抽液泵（216）连接前一级碱洗塔的第二补液口（213）；最后一级碱洗塔的第二补液口（213）连接所述循环管路Q。

3.如权利要求1所述的电子级六氟化硫碱洗装置，其特征在于，所述回路还设置第二再生搅拌罐（27），用于补加KOH。

4.如权利要求1所述的电子级六氟化硫碱洗装置，其特征在于，包括6级串联的碱洗塔。

5.如权利要求1所述的电子级六氟化硫碱洗装置，其特征在于，所述回路依次连接废碱收集罐（22）、所述第一再生搅拌罐（23）、第一储液罐（24）、过滤器（25）、第二储液罐（26）、第二再生搅拌罐（27）、以及并联设置的第三储液罐（28）及第四储液罐（29），且所述第三储液罐（28）及第四储液罐（29）分别与所述循环管路Q联通。

6.如权利要求1所述的电子级六氟化硫碱洗装置的控制方法，其特征在于，包括以下步骤：

S20，控制各级碱洗塔进行自动喷淋，喷淋过程中检测一级碱洗塔中溶液的浓度，当浓度达到设定值时进入步骤S21，否则重复获取浓度；

S21，通过一级碱洗塔中的第二抽液泵（216）及外部循环管路R将一级碱洗塔中的溶液向外部输出；外部输出结束后通过后一级的第二抽液泵（216）将该级第二容置腔（218）中的溶液往上一级的第二容置腔（218）泵送浓缩；然后通过所述外部循环管路Q向最后一级的第二容置腔（218）补充纯碱液；

S22，获取输出的所述一级碱洗塔中溶液的硫酸根、亚硫酸根离子以及F^-离子的总浓度，从而获得所需加入的Ca²⁺理论添加值；

S23，加入Ca²⁺以去除硫酸根、亚硫酸根离子以及F^-离子。

7.如权利要求6所述的电子级六氟化硫碱洗装置的控制方法，其特征在于，还包括：

S24，获取输出的所述一级碱洗塔中溶液中KOH的浓度，并加入KOH粉末使碱液中。