[发明专利]基于相变微胶囊悬浮液的半导体单晶硅金刚石线锯切割方法

权利要求书

1.一种基于相变微胶囊悬浮液的半导体单晶硅金刚石线锯切割方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

1)以甲基丙烯酸甲酯作为有机壳体，直链烷烃类相变材料作为相变芯材，改性纳米氮化硅作为导热粒子采用聚合法制备相变微胶囊，其中芯、壳和氮化硅的质量比为1.5：1：(0.06—0.07)；以金刚线切割液和去离子水按50:1配置水性基础液，添加0.1～0.3wt％的纳米SiC和上述微胶囊制备1.0wt％-5.0wt％的相变微胶囊悬浮液；

2)水泵运输储存池中的微胶囊悬浮液通过冷凝器到达喷嘴，冷凝器确保微胶囊在到达切割区域前没发生相变；

3)微胶囊悬浮液通过喷嘴喷洒到金刚石锯丝上，微胶囊颗粒进入切割区域发生相变。

2.如权利要求1所述的基于相变微胶囊悬浮液的半导体单晶硅金刚石线锯切割方法，其特征在于，所述步骤1)，所述相变芯材包括正十八烷、正十七烷和正十四烷中的一种或两种以上的组合。

3.如权利要求1或2所述的基于相变微胶囊悬浮液的半导体单晶硅金刚石线锯切割方法，其特征在于，所述步骤1)中，改性氮化硅通过硅烷偶联剂接枝法对纳米氮化硅改性制得。

4.如权利要求1或2所述的基于相变微胶囊悬浮液的半导体单晶硅金刚石线锯切割方法，其特征在于，所述悬浮液中相变微胶囊熔化时吸收大量潜热，增大相变微胶囊悬浮液有效比热容，相变微胶囊颗粒附近的“微对流效应”增强了管路壁面的导热性，SiC颗粒由于纳米尺寸效应，会在锯丝和硅片间形成物理吸附膜提高切削液的摩擦特性和润滑性能。

5.如权利要求1或2所述的基于相变微胶囊悬浮液的半导体单晶硅金刚石线锯切割方法，其特征在于，所述步骤2)中，所述喷嘴与冷凝器连接。