[发明专利]一种电涡流传感器

说明书

本发明公开了一种电涡流传感器，属于传感器技术领域。本发明提供了一种电涡流传感器，包括探头，该探头包括支撑板、第一测量件和第二测量件，第一测量件设置于支撑板的一侧，第二测量件相对于第一测量件设置于支撑板的另一侧，其中，第一测量件和第二测量件用于对间隙的平面进行非接触测量。第一测量件包括第一测量线圈和第一屏蔽件，第二测量件包括第二测量线圈和第二屏蔽件，第一测量线圈与第二测量线圈相对设置，第一屏蔽件与第二屏蔽件相对设置。本发明克服了现有技术中间隙检测无法做到非接触测量且测量误差大的问题，本发明可实现非接触测量，且实现了间隙平面上的多点测量，提高了间隙距离测量的准确度。

技术领域

本发明属于传感器技术领域，更具体地说，涉及一种电涡流传感器。

背景技术

在设备的装配组装过程中，常常会遇到两个平面的间隙检测问题，诸如机翼与机身的拼接、密封舱门的间隙检测和各类发动机叶片与机匣的间隙检测。对于这类极端检测场景，普通的位移传感器无法发挥作用。传统的测量方法主要有塞尺和千分尺，这两种测量方法都属于接触式测量，其中塞尺的测量尺寸是离散的，要达到一定的位移分辨率则需要大量不同尺寸的塞尺，费时费力，对于人工是一种巨大的浪费，并且测量精度较低；使用千分尺只能测量间隙的边缘，测量误差大。

使用非接触式位移传感器进行测量则必须使用薄平面测量探头，光学传感器结构难以小型化，并不适用在这种场合。电涡流传感器和电容传感器由于分辨率高且易于小型化和制作成薄平面探头，非常适用于这种间隙测量场合，由于部分设备装配组装过程难免会有灰尘或油污等污染物存在，因此电涡流传感器具有更强的通用性。

电涡流位移传感器是一种基于电磁感应原理和电感—位移关系进行位移测量的传感器，由于电涡流传感器对灰尘和油污等污染物不敏感，能够在大部分工业现场中良好的工作，可以做成高温或者低温探头，能够适用更复杂的工作环境。由于间隙检测中，两个平面往往都是金属导体材料，现有电涡流技术的平面探头可以进入到间隙中进行测量，但存在两个致命问题：一是平面探头要安装在其中一个间隙平面，测量探头表面到另一平面的距离，无法完全做到非接触测量。二是当测量平面是金属导体时，由于测量间隙很小，平面探头会受到背面金属导体的影响，导致测量误差，同时两个间隙面的金属对探头的影响难以解耦,无法准确测量.

发明内容

1.要解决的问题

针对现有技术中间隙检测无法做到非接触测量且测量准确度不高的问题，本发明提供一种电涡流传感器，从而可实现非接触测量，且实现了间隙平面上的多点测量，提高了间隙距离测量的准确度。

2.技术方案

为了解决上述问题，本发明所采用的技术方案如下：

本发明提供了一种电涡流传感器，包括探头，该探头包括支撑板、第一测量件和第二测量件，第一测量件设置于支撑板的一侧，第二测量件相对于第一测量件设置于支撑板的另一侧，其中，第一测量件和第二测量件用于对间隙的平面进行非接触测量。

作为本发明更进一步地改进，第一测量件包括第一测量线圈，该第一测量线圈设置于支撑板的一侧。

作为本发明更进一步地改进，第一测量件还包括第一屏蔽件，该第一屏蔽件设置于第一测量线圈与支撑板之间。

作为本发明更进一步地改进，第二测量件包括第二测量线圈，该第二测量线圈相对于第一测量线圈设置于支撑板的另一侧。

作为本发明更进一步地改进，第二测量件还包括第二屏蔽件，该第二屏蔽件相对于第一屏蔽件设置于第二测量线圈与支撑板之间。

作为本发明更进一步地改进，第一屏蔽件和第二屏蔽件均为铁氧体片，从而可将第一测量线圈和第二测量线圈的磁场限制在铁氧体片内部，达到磁场屏蔽的效果。

作为本发明更进一步地改进，第一测量线圈和第二测量线圈分别包括若干个平面线圈，且该若干个平面线圈均匀分布在同一水平面上。