[发明专利]一种电涡流传感器

权利要求书

1.一种电涡流传感器，其特征在于，包括探头(100)，该探头(100)包括支撑板(110)、第一测量件和第二测量件，所述第一测量件设置于支撑板(110)的一侧，第二测量件相对于第一测量件设置于支撑板(110)的另一侧，其中，第一测量件和第二测量件用于对间隙的平面进行非接触测量。

2.根据权利要求1所述的一种电涡流传感器，其特征在于，所述第一测量件包括第一测量线圈(121)，该第一测量线圈(121)设置于支撑板(110)的一侧。

3.根据权利要求2所述的一种电涡流传感器，其特征在于，所述第一测量件还包括第一屏蔽件(122)，该第一屏蔽件(122)设置于第一测量线圈(121)与支撑板(110)之间。

4.根据权利要求2所述的一种电涡流传感器，其特征在于，所述第二测量件包括第二测量线圈(131)，该第二测量线圈(131)相对于第一测量线圈(121)设置于支撑板(110)的另一侧。

5.根据权利要求4所述的一种电涡流传感器，其特征在于，所述第二测量件还包括第二屏蔽件(132)，该第二屏蔽件(132)相对于第一屏蔽件(122)设置于第二测量线圈(131)与支撑板(110)之间。

6.根据权利要求5所述的一种电涡流传感器，其特征在于，所述第一屏蔽件(122)和第二屏蔽件(132)均为铁氧体片。

7.根据权利要求4所述的一种电涡流传感器，其特征在于，所述第一测量线圈(121)和第二测量线圈(131)分别包括若干个平面线圈，且若干个平面线圈均匀分布在同一水平面上。

8.根据权利要求7所述的一种电涡流传感器，其特征在于，还包括测量电路(200)，若干个所述平面线圈通过引线和电路开关(300)与测量电路(200)电性连接。

9.根据权利要求7或8所述的一种电涡流传感器，其特征在于，若干个所述平面线圈均为FPC线圈。