[发明专利]一种自密封保护重离子加速器储藏室剥离膜的密封传动杆

权利要求书

1.一种自密封保护重离子加速器储藏室剥离膜的密封传动杆，所述传动杆（5）的前端连接有用于更换剥离膜的膜片夹取组件（41），其特征在于，所述传动杆（5）位于膜片夹取组件（41）后方处连接有密封组件（4），传动杆（5）前端伸入至二极铁真空室（3）内时，密封组件（4）位于同步加速器二极铁真空管道（2）内，所述二极铁真空管道（2）一端连通二极铁真空室（3）、另一端连通剥离膜储藏室（1）；密封组件（4）用于密封并分隔密封组件（4）前后两侧二极铁真空管道（2），进而分隔二极铁真空室（3）和剥离膜储藏室（1）。

2.根据权利要求1所述的自密封保护重离子加速器储藏室剥离膜的密封传动杆，其特征在于，所述密封组件（4）包括圆盘形的基座（42），基座（42）的内径等于传动杆（5）外径、外径小于二极铁真空管道（2）内径；基座（42）固定于传动杆（5）上，基座（42）的内圈上设有第一密封圈（43），第一密封圈（43）用于密封传动杆（5）外圆周和基座（42）内圈之间的空隙；基座（42）的外圈上设有第二密封圈（44），第二密封圈（44）用于密封二极铁真空管道（2）内腔和基座（42）外圈之间的空隙。

3.根据权利要求2所述的自密封保护重离子加速器储藏室剥离膜的密封传动杆，其特征在于，所述第一密封圈（43）包括至少一个，所述第二密封圈（44）包括至少两个。

4.根据权利要求3所述的自密封保护重离子加速器储藏室剥离膜的密封传动杆，其特征在于，所述第一密封圈（43）为O形密封圈，第二密封圈（44）为矩形密封圈。

5.根据权利要求4所述的自密封保护重离子加速器储藏室剥离膜的密封传动杆，其特征在于，所述第一密封圈（43）和第二密封圈（44）采用氟橡胶材质。

6.根据权利要求5所述的自密封保护重离子加速器储藏室剥离膜的密封传动杆，其特征在于，所述第一密封圈（43）和第二密封圈（44）的渗气率不大于 3.6×10^-4/Pa·L·cm^-1·s^-1。

7.根据权利要求6所述的自密封保护重离子加速器储藏室剥离膜的密封传动杆，其特征在于，所述第一密封圈（43）和第二密封圈（44）的出气率不大于3.5×10^-4Pa·L·cm^-2·s^-1。

8.根据权利要求1所述的自密封保护重离子加速器储藏室剥离膜的密封传动杆，其特征在于，所述基座（42）采用铝合金材质。

9.根据权利要求1所述的自密封保护重离子加速器储藏室剥离膜的密封传动杆，其特征在于，所述基座（42）外表面开设有若干指向轴心的螺孔，螺孔内连接有顶丝（45），基座（42）通过顶丝（45）固定于传动杆（5）上。