[发明专利]一种增加铌酸锂或钽酸锂晶片导电性能的黑化处理办法在审

专利信息
申请号: 202210322732.7 申请日: 2022-03-29
公开(公告)号: CN114959907A 公开(公告)日: 2022-08-30
发明(设计)人: 吴剑波;倪荣萍;张虞;李胜雨;吴冰 申请(专利权)人: 苏州南智芯材科技有限公司
主分类号: C30B33/00 分类号: C30B33/00;C30B33/02;C30B29/30
代理公司: 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 代理人: 逯长明;许伟群
地址: 215536 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 增加 铌酸锂 钽酸锂 晶片 导电 性能 处理 办法
【权利要求书】:

1.一种增加铌酸锂或钽酸锂晶片导电性能的黑化处理办法,其特征在于,具体步骤包括:

(1)将还原性单质材料、碳酸锂粉、植物纤维或植物淀粉与水进行机械球磨混合,得复合还原剂;

(2)将复合还原剂以喷涂或匀胶的方式涂覆于预处理的铌酸锂晶片或钽酸锂晶片正反两面,烘干处理后,将晶片交替层叠放置于容器中;

(3)将容器置入热处理炉中,对热处理炉进行抽真空处理,调节热处理炉内温度,在氮气氛围下,调节热处炉内压强,对铌酸锂或钽酸锂晶片进行黑化处理。

2.根据权利要求1所述的增加铌酸锂或钽酸锂晶片导电性能的黑化处理办法,其特征在于,所述还原性单质材料包括碳粉、硅粉、镁粉、铝粉、钙粉、钛粉、铁粉、锰粉、锌粉中的一种。

3.根据权利要求1所述的增加铌酸锂或钽酸锂晶片导电性能的黑化处理办法,其特征在于,所述植物纤维包括纤维素、半纤维素、木素中的一种。

4.根据权利要求1或2所述的增加铌酸锂或钽酸锂晶片导电性能的黑化处理办法,其特征在于,按重量份计,所述还原性单质材料为3-30份、所述碳酸锂粉为50-90份、所述植物纤维或植物淀粉为3-10份,所述水为10-20份。

5.根据权利要求1所述的增加铌酸锂或钽酸锂晶片导电性能的黑化处理办法,其特征在于,所述步骤(2)的具体步骤包括:

将混合物以喷涂或匀胶的方式涂覆于预处理的铌酸锂或钽酸锂晶片的第一面后,进行烘干处理,随后将混合物以喷涂或匀胶的方式涂覆于预处理的铌酸锂或钽酸锂晶片的第二面,烘干处理后,将晶片交替层叠放置于刚玉或不锈钢容器中;

或将混合物以喷涂或匀胶的方式涂覆于预处理的铌酸锂或钽酸锂晶片的正反两面,进行烘干处理后,将晶片交替层叠放置于刚玉或不锈钢容器中。

6.根据权利要求5所述的增加铌酸锂或钽酸锂晶片导电性能的黑化处理办法,其特征在于,所述步骤(2)中烘干处理温度为25-60℃。

7.根据权利要求1所述的增加铌酸锂或钽酸锂晶片导电性能的黑化处理办法,其特征在于,所述步骤(2)中预处理的铌酸锂或钽酸锂晶片直径为10-400mm,或长度、宽度为10-400mm,厚度为0.25-1mm。

8.根据权利要求7所述的增加铌酸锂或钽酸锂晶片导电性能的黑化处理办法,其特征在于,所述预处理的铌酸锂或钽酸锂晶片为经过清洗的双面研磨片。

9.根据权利要求1、5或6所述的增加铌酸锂或钽酸锂晶片导电性能的黑化处理办法,其特征在于,所述步骤(3)的具体步骤包括:

将刚玉或不锈钢容器置入热处理炉中,将热处理炉抽真空至20-100Pa,持续升温至300-450℃,通入流量为0.5-3L/min的氮气,调节热处炉内压强为0.005-0.02MPa,对铌酸锂或钽酸锂晶片进行黑化处理。

10.根据权利要求1所述的增加铌酸锂或钽酸锂晶片导电性能的黑化处理办法,其特征在于,在调节热处炉内压强之后,所述处理办法还包括:

使热处理炉恒温2-10h,随后降温至80℃断电,使热处理炉冷却至25℃,停止通入氮气,持续对铌酸锂或钽酸锂晶片进行黑化处理,直至打开热处理炉取出铌酸锂或钽酸锂晶片,完成黑化处理。

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