[发明专利]一种便于晶体出炉的晶体生产及提升装置和方法在审
申请号: | 202210322381.X | 申请日: | 2022-03-30 |
公开(公告)号: | CN114635182A | 公开(公告)日: | 2022-06-17 |
发明(设计)人: | 周玉兰;陈伟;陈秋华;陈养国;张杨;王昌运 | 申请(专利权)人: | 福建福晶科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B15/10;C30B33/02;C30B29/22 |
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地址: | 350003 福建*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 便于 晶体 出炉 生产 提升 装置 方法 | ||
1.一种便于晶体出炉的晶体生产及提升装置,其特征在于:包括:坩埚,圆篮,和用于提升圆篮的挂钩,其中所述圆篮设置在坩埚的内部,并且能够从坩埚的内部中提升,所述圆篮的上部设置有提手,该提手能够绕圆篮旋转,所述挂钩通过钩挂所述提手,将所述圆篮从坩埚中提升。
2.根据权利要求1所述的晶体生产及提升装置,其特征在于:所述坩埚和所述圆篮为铂材质,组成铂坩埚套装,包括铂圆筒坩埚和铂圆篮,所述铂圆篮的底部具有多个支撑脚,所述铂坩埚套装呈中心轴对称设置。
3.根据权利要求2所述的晶体生产及提升装置,其特征在于:所述支撑脚为2~8个,高度为2~5mm,设置在铂圆篮外侧的底部。
4.根据权利要求3所述的晶体生产及提升装置,其特征在于:所述支撑脚为4个,高度为3mm。
5.根据权利要求3所述的晶体生产及提升装置,其特征在于:在所述铂圆篮的底部和侧面具有多个漏孔。
6.根据权利要求5所述的晶体生产及提升装置,其特征在于:所述提手为半圆形,提手两端头与铂圆篮呈铰链连接。
7.根据权利要求6所述的晶体生产及提升装置,其特征在于:所述提手能够180度转动,180度转动的范围为水平→向上垂直→水平方向,在水平状态时所述提手位于铂圆篮壁内侧,并且与铂圆篮壁距离2~3mm。
8.根据权利要求7所述的晶体生产及提升装置,其特征在于:在所述提手的正中间具有“∧”型的凹槽,所述挂杆能够与所述“∧”型的凹槽形成吻合固定。
9.一种利用权利要求8所述的晶体生产及提升装置进行晶体生长和提升的方法,具体包括如下步骤:
晶体生长步骤S110:
往内置铂圆篮的坩埚套装内倒入配置好的晶体原料,装满晶体原料的铂坩埚套装放置熔盐法炉膛中,升温使原料充分融熔,恒温24h;降温到晶体结晶点温度,用籽晶杆固定籽晶,引入熔体,启动晶体生长程序至晶体正常生长到预定尺寸;
圆篮提升步骤S120:
当晶体掉到铂圆篮内时,提出籽晶杆,用备用的挂钩勾住铂圆篮可活动的提手正中间的小“∧”状处,使铂圆篮提手从水平状态90℃向上转动呈垂直状态,再缓慢提起,直至脱离熔体液面,缓慢提起挂钩后将挂钩固定在籽晶杆支架上,继续完成退火程序,直至室温,晶体出炉。
10.根据权利要求9所述的晶体生长和提升的方法,其特征在于:所述圆篮提升步骤S120还包括:当晶体提升并预备晶体掉落时,用备用的挂钩勾住铂圆篮的可活动的提手正中间的小“∧”状处进行提升,使提手在晶体和埚壁之间的空隙缓慢越过晶体,在提起的铂圆篮位于熔液液面上方、晶体正下方位置时,把挂钩固定在籽晶杆支架上,继续完成退火程序。
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