[发明专利]一种红外探测器杜瓦在审
申请号: | 202210302117.X | 申请日: | 2022-03-25 |
公开(公告)号: | CN114754874A | 公开(公告)日: | 2022-07-15 |
发明(设计)人: | 周勇强;熊雄;林欢欢;毛剑宏 | 申请(专利权)人: | 浙江珏芯微电子有限公司 |
主分类号: | G01J5/02 | 分类号: | G01J5/02 |
代理公司: | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人: | 林志豪 |
地址: | 323000 浙江省丽水市莲都*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 红外探测器 | ||
本发明涉及红外探测器技术领域,具体涉及一种红外探测器杜瓦,所述吸气剂模块包括:一隔离盘,所述隔离盘的一表面设置有至少一吸气剂、以及至少一与所述吸气剂对应的支撑片;每一所述吸气剂均具备第一吸气剂电极和第二吸气剂电极,所述第一吸气剂电极与所述支撑片固定连接。本发明设计吸气剂模块化结构,吸气剂安装简单便捷,且避免了杜瓦外壳表面镀层的损坏,提高了其耐腐蚀能力,减少了零部件以及焊缝数量,降低漏气风险,降低工时。
技术领域
本发明涉及红外探测器技术领域,具体涉及一种红外探测器杜瓦。
背景技术
目前通常的杜瓦制造方案是:首先焊接各个部件,然后在主筒部件内壁上焊接用于保证杜瓦真空的吸气剂,最后将各部件组成一个封闭腔室。
现有技术中在杜瓦主筒部件侧壁安装吸气剂,需要首先主筒侧壁沿主筒侧壁的径向开孔,通过钎焊的方式焊接两个绝缘子,然后在主筒部件内壁上设置吸气剂固定件用于焊接吸气剂,由于需要在主筒部件内侧固定安装吸气剂,焊接可达性差,操作不便,同时传统技术中受焊接空间限制,主筒部件和冷指部件无法直接连接,需增加一个连接部件用于连接,绝缘子直接暴露在杜瓦侧壁上,容易发生碰撞,损坏绝缘子,导致漏气。
现有技术在主筒焊接吸气剂时,需要利用电阻焊将用于固定吸气剂的吸气剂固定件焊接在主筒内壁上,但是在主筒部件内部焊接吸气剂固定件时,电阻焊会破坏主筒部件外表面镀层,进而影响杜瓦耐腐蚀性能以及美观性。
而且由于吸气剂使用时,会产生大量热量,现有技术中隔离盘隔热效果一般,吸气剂激活时,芯片处温度会在较短时间内升至80℃以上,易损坏芯片。
发明内容
本发明的目的在于,提供一种吸气剂模块以及红外探测器杜瓦,以解决需要利用电阻焊将用于固定吸气剂的吸气剂固定件焊接在主筒部件上,导致主筒部件的镀层被破坏的技术问题;
一种吸气剂模块,所述吸气剂模块包括:一隔离盘,所述隔离盘的一表面设置有至少一吸气剂、以及至少一与所述吸气剂对应的支撑片;
每一所述吸气剂均具备第一吸气剂电极和第二吸气剂电极,所述第一吸气剂电极与所述支撑片固定连接。
优选的,其中,所述隔离盘包括:于第一方向的平面内布置的具备内孔的环状结构、以及与所述环状结构的所述内孔相连接的内侧壁结构,所述环状结构沿第一方向延伸,所述内侧壁结构沿与第一方向相交的第二方向延伸。
优选的,其中,所述环状结构的外缘开设有缺口,所述缺口的数量与所述吸气剂的数量相匹配,所述第二吸气剂电极延伸至所述缺口处;
优选的,其中,所述缺口呈扇形设置,所述缺口具备一平行于所述环状结构的轴线的缺口面。
优选的,其中,所述吸气剂为实心柱状吸气剂,所述吸气剂的轴线沿平行于所述环状结构的方向布置,所述第一吸气剂电极和所述第二吸气剂电极分别设于所述吸气剂的两端,所述第一吸气剂电极和所述第二吸气剂电极均沿平行于所述环状结构的方向布置;
优选的,其中,所述吸气剂的轴线与所述环状结构的轴线垂直,所述吸气剂的轴线与所述缺口面垂直,所述第一吸气剂电极和所述第二吸气剂电极与所述吸气剂同轴设置。
优选的,其中,所述支撑片具备沿第二方向布置的支撑部,所述第一吸气剂电极抵于所述支撑部。
优选的,其中,所述隔离盘的一表面上开设有第一限位沟槽和第二限位沟槽,所述支撑片设于所述第二限位沟槽内。
优选的,其中,还包括:固定环,所述固定环设于所述第一限位沟槽内,所述吸气剂通过所述固定环设于所述隔离盘上。
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