[发明专利]一种晶圆缺口检测电路及装置

权利要求书

1.一种晶圆缺口检测电路，其特征在于，包括：发射电路和接收电路，

所述发射电路包括预设个数的发光电路，所述接收电路包括和所述发光电路对应设置的预设个数的发光检测电路，每个发光电路和对应设置的发光检测电路分别用于检测不同规格的晶圆，且分别设置在待测晶圆的两侧；

所述发光电路发出红外光信号照射至待测晶圆边缘，所述发光检测电路接收经过待测晶圆的红外光信号，生成晶圆缺口模拟检测信号输出。

2.根据权利要求1所述的晶圆缺口检测电路，其特征在于，所述发光电路包括：第一三极管和第一二极管，

所述第一三极管的基极接收外部输入的控制信号，所述第一三极管的集电极连接所述第一二极管的正极，所述第一三极管的发射极连接外部电源，所述第一二极管的负极连接所述发光电路的输出端。

3.根据权利要求2所述的晶圆缺口检测电路，其特征在于，所述发射电路还包括：反馈电路，所述反馈电路连接在所述发光电路的末端，用于控制所述二极管工作在额定电流状态。

4.根据权利要求3所述的晶圆缺口检测电路，其特征在于，所述反馈电路包括：第二三极管、第三三极管、第一功率放大器和取样电阻，

所述第二三极管的基极接收外部输入的控制信号，所述第二三极管的集电极连接所述第一功率放大器的同相输入端，所述第二三极管的发射极连接外部电源，所述第一功率放大器的反相输入端连接所述取样电阻的一端以及所述第三三极管的源极，所述取样电阻的另一端接地，所述第一功率放大器的输出端连接所述第三三极管的栅极，所述第三三极管的漏极连接所述发光电路的输出端。

5.根据权利要求2所述的晶圆缺口检测电路，其特征在于，当需要检测任一规格的待测晶圆时，待测晶圆对应的发光电路输入低电平的控制信号，其他发光电路输入高电平的控制信号。

6.根据权利要求2所述的晶圆缺口检测电路，其特征在于，所述发光检测电路包括：第二二极管和第二功率放大器，

所述第二二极管的正极连接所述第二功率放大器的同相输入端，所述第二二极管的负极连接所述第二功率放大器的反相输入端，所述第二功率放大器的输出端连接所述发光检测电路的输出端。

7.根据权利要求1所述的晶圆缺口检测电路，其特征在于，所述接收电路还包括：输出控制电路，所述输出控制电路包括多个控制开关电路，所述控制开关电路连接在每个发光检测电路的输出端和所述接收电路的输出端之间，当需要检测任一规格的待测晶圆时，待测晶圆对应的发光检测电路的控制开关电路开启。

8.根据权利要求6所述的晶圆缺口检测电路，其特征在于，所述发光检测电路还包括：放大调节电路，所述放大调节电路连接在所述二极管和所述第二功率放大器的两端，用于调节所述第二功率放大器的输出模拟信号的大小。

9.根据权利要求6所述的晶圆缺口检测电路，其特征在于，所述第一二极管为红外二极管，所述第二二极管为硅光电二极管。

10.一种晶圆缺口检测装置，其特征在于，包括：印制板、机械罩、滤光片以及权利要求1-9任一项所述的晶圆缺口检测电路，

所述晶圆检测电路设置在所述印制板上，所述机械罩覆盖在所述印制板上，所述滤光片覆盖在接收电路上。