[发明专利]一种三轴陀螺仪及转角识别装置

权利要求书

1.一种三轴陀螺仪，其特征在于，包括衬底，以及平行设置于所述衬底上方的两个Y轴检测模块和分别弹性连接于所述衬底的四个X/Z轴检测模块，其中，所述两个Y轴检测模块分别为第一Y轴检测模块和第二Y轴检测模块，用于检测绕Y轴的角速度，所述四个X/Z轴检测模块分别为第一X/Z轴检测模块、第二X/Z轴检测模块、第三X/Z轴检测模块和第四X/Z轴检测模块，用于检测绕X轴和绕Z轴的角速度；

所述第一X/Z轴检测模块和所述第二X/Z轴检测模块之间弹性连接，所述第三X/Z轴检测模块和所述第四X/Z轴检测模块之间弹性连接，所述第一Y轴检测模块和所述第二Y轴检测模块之间弹性连接；

所述第一Y轴检测模块位于所述第一X/Z轴检测模块和所述第三X/Z轴检测模块之间，并分别与所述第一X/Z轴检测模块和所述第三X/Z轴检测模块弹性连接；

所述第二Y轴检测模块位于所述第二X/Z轴检测模块和所述第四X/Z轴检测模块之间，并分别与所述第二X/Z轴检测模块和所述第四X/Z轴检测模块弹性连接；

所述第一X/Z轴检测模块和所述第二X/Z轴检测模块用于在检测过程中沿Y方向进行方向相反的谐振运动；

所述第三X/Z轴检测模块和所述第四X/Z轴检测模块用于在检测过程中沿Y方向进行方向相反的谐振运动。

2.根据权利要求1所述的三轴陀螺仪，其特征在于，所述X/Z轴检测模块设有第一Z轴电极；

所述衬底与每个X/Z轴检测模块对应的区域同时设有第一X轴电极和第二Z轴电极；

所述第一X轴电极与所述X/Z轴检测模块在Z向上相对排列，构成X轴检测电容，用于检测绕X轴的角速度，所述第一Z轴电极与所述第二Z轴电极在X向上相对排列，构成Z轴检测电容，用于检测绕Z轴的角速度。

3.根据权利要求2所述的三轴陀螺仪，其特征在于，所述X/Z轴检测模块包括第一质量块以及第一横梁；

所述第一横梁包括相对设置的第一端、第二端以及位于所述第一端和第二端之间的第三端，所述第一端和所述第二端分别与所述衬底弹性连接，所述第三端与所述第一质量块弹性连接；

所述第一X/Z轴检测模块的第一质量块和所述第二X/Z轴检测模块的第一质量块之间弹性连接，所述第三X/Z轴检测模块的第一质量块和所述第四X/Z轴检测模块的第一质量块之间弹性连接；

所述第一Y轴检测模块位于所述第一X/Z轴检测模块的第一质量块和所述第三X/Z轴检测模块的第一质量块之间，并分别与所述第一X/Z轴检测模块的第一质量块和所述第三X/Z轴检测模块的第一质量块弹性连接；

所述第二Y轴检测模块位于所述第二X/Z轴检测模块的第一质量块和所述第四X/Z轴检测模块的第一质量块之间，并分别与所述第二X/Z轴检测模块的第一质量块和所述第四X/Z轴检测模块的第一质量块弹性连接。

4.根据权利要求3所述的三轴陀螺仪，其特征在于，所述第一X轴电极位于所述衬底上，并且与所述第一横梁相对。

5.根据权利要求4所述的三轴陀螺仪，其特征在于，所述第一X轴电极与所述第一横梁在Z向上的投影至少有部分重合。

6.根据权利要求5所述的三轴陀螺仪，其特征在于，所述第一X轴电极在Z向上的投影位于所述第一横梁在Z向上的投影区域以内。

7.根据权利要求3所述的三轴陀螺仪，其特征在于，所述三轴陀螺仪还包括分别与所述衬底弹性连接的第二横梁和第三横梁；

所述第一X/Z轴检测模块的第一横梁的第二端与所述第二X/Z轴检测模块的第一横梁的第二端通过所述第二横梁连接，构成第一U形梁；

所述第三X/Z轴检测模块的第一横梁的第二端与所述第四X/Z轴检测模块的第一横梁的第二端通过所述第三横梁连接，构成第二U形梁，所述第二U形梁的开口正对所述第一U形梁的开口。

8.根据权利要求7所述的三轴陀螺仪，其特征在于，还包括四个第一驱动部，分别与所述四个X/Z轴检测模块一一对应，所述第一驱动部设置在所述第一质量块的内部，用于驱动所述第一质量块做相应的谐振运动。