[发明专利]一种双余度差压传感器

说明书

本发明公开了一种双余度差压传感器，所述双余度差压传感器包括外壳体；安装接头，所述安装接头朝向外壳体的一端设有高压端感压腔以及低压端感压腔，所述安装接头的另一端设有分别将高压端感压腔和低压端感压腔连通至外部的高压端引压流道和低压端引压流道；两个绝压敏感芯体；主控电路板；以及电连接器。本发明的双余度差压传感器通过使用两个绝压敏感芯体实现差压信号测试，从而获得两路独立且相同的输出信号，该双余度信号使得传感器的可靠性高；并且，绝压敏感芯体的体积相较于差压敏感芯体的体积小，而且在安装接头仅需设置两个引压流道，所以该传感器具有结构紧凑、体积小以及重量轻的优点，传感器及其安装接头可以实现小型化设计。

技术领域

本发明涉及差压传感器的技术领域，特别是涉及一种双余度差压传感器。

背景技术

传感器是一种能感受物理信号，并能按照一定的规律将物理信号转换成可用的、可输出的电信号的器件或装置。其广泛应用于各种工业自控环境中，涉及水利水电、航空航天等领域，因传感器的工作环境常处于高温、高压环境中，所以对传感器的质控要求高。

其中，差压传感器是传感器中的一种，差压指的是任意两个压力之差，差压传感器又分为单余度差压传感器和双余度差压传感器，现有的单余度差压传感器无冗余设计，其可靠性低；而现有的双余度差压传感器通常采用两个差压敏感芯体，首先，差压敏感芯体的尺寸普遍较大，导致双余度差压传感器的体积较大，无法小型化；其次，采用两个差压敏感芯体的双余度差压传感器必须设置三个引压流道，从而导致双余度差压传感器的安装接头必须具备设置三个引压流道的空间，进一步导致双余度差压传感器的体积较大，无法小型化。

有鉴于此，本发明人针对上述差压传感器结构设计上未臻完善所导致的诸多缺失及不便，而深入构思，且积极研究改良试做而开发设计出本发明。

发明内容

本发明的目的在于提供一种可靠性高以及体积小的双余度差压传感器。

为了达成上述目的，本发明的解决方案是：

一种双余度差压传感器，所述双余度差压传感器包括外壳体；安装接头，所述安装接头密封固定在外壳体的一端，所述安装接头朝向外壳体的一端设有高压端感压腔以及低压端感压腔，所述安装接头的另一端设有分别将高压端感压腔和低压端感压腔连通至外部的高压端引压流道和低压端引压流道；两个绝压敏感芯体，两个绝压敏感芯体分别密封安装在高压端感压腔和低压端感压腔朝向外壳体内部的端口，所述绝压敏感芯体上设有惠斯通电桥的接线针组，所述接线针组包括正半桥针组以及负半桥针组；主控电路板，所述主控电路板配合在外壳体内，主控电路板上设有两路独立的信号输出模块：第一信号输出模块和第二信号输出模块，第一信号输出模块与高压端的正半桥针组和低压端的正半桥针组导通，第二信号输出模块与高压端的负半桥针组和低压端的负半桥针组导通；以及电连接器，所述电连接器密封固定在外壳体的另一端，并与主控电路板导通。

所述安装接头与外壳体、外壳体与电连接器均通过激光焊接固定；其中，两个绝压敏感芯体也均通过激光焊接分别固定在高压端感压腔和低压端感压腔的端口上。

所述绝压敏感芯体与主控电路板、主控电路板与电连接器均通过信号线连接导通。

所述主控电路板通过螺钉锁固在安装接头朝向外壳体的一端。

所述安装接头的外部在高压端引压流道开口和低压端引压流道开口之间、低压端引压流道开口靠近外壳体的一侧均设有密封槽，所述密封槽内配合有密封圈。

所述主控电路板上设有两个独立的对电压信号进行温度补偿和调试的信号调理模块，两路独立的信号输出模块分别连接至两个独立的信号调理模块。

所述绝压敏感芯体采用SOI MEMS压力传感器芯片作为敏感元件。