[发明专利]一种双余度差压传感器

权利要求书

1.一种双余度差压传感器，其特征在于：所述双余度差压传感器包括外壳体；

安装接头，所述安装接头密封固定在外壳体的一端，所述安装接头朝向外壳体的一端设有高压端感压腔以及低压端感压腔，所述安装接头的另一端设有分别将高压端感压腔和低压端感压腔连通至外部的高压端引压流道和低压端引压流道；

两个绝压敏感芯体，两个绝压敏感芯体分别密封安装在高压端感压腔和低压端感压腔朝向外壳体内部的端口，所述绝压敏感芯体上设有惠斯通电桥的接线针组，所述接线针组包括正半桥针组以及负半桥针组；

主控电路板，所述主控电路板配合在外壳体内，主控电路板上设有两路独立的信号输出模块：第一信号输出模块和第二信号输出模块，第一信号输出模块与高压端的正半桥针组和低压端的正半桥针组导通，第二信号输出模块与高压端的负半桥针组和低压端的负半桥针组导通；

以及电连接器，所述电连接器密封固定在外壳体的另一端，并与主控电路板导通。

2.如权利要求1所述的一种双余度差压传感器，其特征在于：所述安装接头与外壳体、外壳体与电连接器均通过激光焊接固定；其中，两个绝压敏感芯体也均通过激光焊接分别固定在高压端感压腔和低压端感压腔的端口上。

3.如权利要求1所述的一种双余度差压传感器，其特征在于：所述绝压敏感芯体与主控电路板、主控电路板与电连接器均通过信号线连接导通。

4.如权利要求1所述的一种双余度差压传感器，其特征在于：所述主控电路板通过螺钉锁固在安装接头朝向外壳体的一端。

5.如权利要求1所述的一种双余度差压传感器，其特征在于：所述安装接头的外部在高压端引压流道开口和低压端引压流道开口之间、低压端引压流道开口靠近外壳体的一侧均设有密封槽，所述密封槽内配合有密封圈。

6.如权利要求1所述的一种双余度差压传感器，其特征在于：所述主控电路板上设有两个独立的对电压信号进行温度补偿和调试的信号调理模块，两路独立的信号输出模块分别连接至两个独立的信号调理模块。

7.如权利要求1所述的一种双余度差压传感器，其特征在于：所述绝压敏感芯体采用SOI MEMS压力传感器芯片作为敏感元件。