[发明专利]一种孔径连续可调的方孔粒子束准直器及其孔径调节方法

权利要求书

1.一种孔径连续可调的方孔粒子束准直器，其特征在于，包括安装基座、真空腔体、准直器主体和孔径调节驱动机构，真空腔体设于安装基座上，准直器主体设于真空腔体内，孔径调节驱动机构的动力输出末端伸入真空腔体内并与准直器主体连接；

准直器主体中设有旋转圆盘，旋转圆盘的中部设有圆盘通孔，圆盘通孔的外周分布有若干弧形导槽，旋转圆盘的一端面外侧设有一对开合运动的第一准直块，旋转圆盘的另一端面外侧设有一对开合运动的第二准直块，第一准直块的开合运动方向与第二准直块的开合运动方向相垂直，各第一准直块和各第二准直块上还分别设有接触套筒，每个接触套筒嵌入旋转圆盘上的弧形导槽内并在旋转圆盘转动时沿弧形导槽滑动；旋转圆盘的圆周外侧还设有联动组件，联动组件与孔径调节驱动机构的动力输出末端连接。

2.根据权利要求1所述一种孔径连续可调的方孔粒子束准直器，其特征在于，所述准直器主体中，旋转圆盘的两个端面外侧分别设有第一导轨固定板和第二导轨固定板；

第一导轨固定板上安装有平行分布的两个第一导轨，各第一准直块的两端分别设有第一滑块，且各第一准直块的两端分别通过第一滑块安装于第一导轨上，两个第一准直块对称设置；

第二导轨固定板上安装有平行分布的两个第二导轨，各第二准直块的两端分别设有第二滑块，且各第二准直块的两端分别通过第二滑块安装于第二导轨上，两个第二准直块对称设置。

3.根据权利要求2所述一种孔径连续可调的方孔粒子束准直器，其特征在于，所述第二导轨固定板上还安装有至少一个弧形导轨，弧形导轨配置有第三滑块，旋转圆盘朝向第二固定板的端面设有延伸部，延伸部与第三滑块固定连接。

4.根据权利要求2所述一种孔径连续可调的方孔粒子束准直器，其特征在于，所述第一导轨固定板和第二导轨固定板的中部分别设有固定板通孔，各固定板通孔与圆盘通孔同轴设置，两个第一准直块之间的通道和两个第二准直块之间的通道交叉形成与圆盘通孔同轴的方孔。

5.根据权利要求2所述一种孔径连续可调的方孔粒子束准直器，其特征在于，旋转圆盘的外周还设有固定连接块，第一导轨固定板和第二导轨固定板分别安装于固定连接块上，联动组件从固定连接块侧面的通孔穿过。

6.根据权利要求1所述一种孔径连续可调的方孔粒子束准直器，其特征在于，所述准直器主体中，第一准直块为沿水平方向运动的准直块，沿水平方向，两个第一准直块的运动方向相反；第二准直块为沿竖直方向运动的准直块，沿竖直方向，两个第二准直块的运动方向相反。

7.根据权利要求1所述一种孔径连续可调的方孔粒子束准直器，其特征在于，所述准直器主体中，单个第一准直块和单个第二准直块的结构相同，分别包括铝合金框架、石墨挡块、接触套筒和接触套筒支撑杆，石墨挡块安装于铝合金框架内，铝合金框架的一侧设有凸起部，接触套筒通过接触套筒支撑杆安装于凸起部上。

8.根据权利要求1所述一种孔径连续可调的方孔粒子束准直器，其特征在于，所述准直器主体中，联动组件包括联动曲杆和双向铰链，联动曲杆的一端设于旋转圆盘上，联动曲杆的另一端设有双向铰链；孔径调节驱动机构的动力输出末端为拉杆，拉杆端部与双向铰链连接。