[发明专利]用于硅盘的夹具组件

权利要求书

1.一种用于硅盘的夹具组件，其特征在于，所述夹具组件包括：

基板，在所述基板上设有可接纳所述硅盘的座孔；

支撑机构，所述支撑机构包括围绕所述座孔的整个周向内壁彼此间隔的布置且固定在所述周向内壁中的多个支撑块，每个所述支撑块具有沿着径向向内方向高于所述周向内壁的第一轴向弧面和从所述第一轴向弧面的底部沿径向朝向所述座孔的中心线延伸的第一支撑平面，所述第一支撑平面适于与所述硅盘的下表面的外边缘相抵靠；和

调节机构，所述调节机构包括沿所述周向内壁彼此间隔且与所述支撑块间隔开的多个调节块，每个所述调节块可活动地固定在所述周向内壁中，并且每个所述调节块配置成可沿径向向内推动所述硅盘以使所述硅盘的周向边缘抵靠在相对的所述支撑块的所述第一轴向弧面上，

其中，所述支撑块和所述调节块均采用树脂材料加工而成。

2.根据权利要求1所述的用于硅盘的夹具组件，其特征在于，所述调节机构还包括可拆卸地固定在所述基板上的紧固块，每个所述紧固块与对应的所述调节块彼此相接，并且相对于所述基板的紧固程度是可调节的，以便调节对应的所述调节块施加在所述硅盘上的向内径向位移量。

3.根据权利要求2所述的用于硅盘的夹具组件，其特征在于，在所述调节块的远离所述中心线的一侧形成有倾斜向下地朝向远离所述中心线的方向延伸的第一斜面，并且在所述紧固块上形成有与所述第一斜面相对且可抵靠在所述第一斜面上的第二斜面。

4.根据权利要求3所述的用于硅盘的夹具组件，其特征在于，所述紧固块采用金属材质加工而成。

5.根据权利要求1所述的用于硅盘的夹具组件，其特征在于，在每个所述调节块的底部形成有朝向所述中心线延伸且与所述第一支撑平面位于同一径向平面上的第二支撑平面。

6.根据权利要求5所述的用于硅盘的夹具组件，其特征在于，在每个所述调节块上形成有从所述第二支撑平面垂直向上延伸且可与所述第一轴向弧面位于同一圆弧面上的第二轴向弧面。

7.根据权利要求1-6任一项所述的用于硅盘的夹具组件，所述夹具组件还包括：

至少一个压块，所述压块配置成可固定在对应的所述支撑块上，并且所述压块具有平行于所述第一支撑平面的加压平面，所述加压平面适于与所述硅盘的上表面的外边缘相抵靠。

8.根据权利要求1所述的用于硅盘的夹具组件，其特征在于，在所述基板的一个周向外侧边上形成有彼此间隔的多个定位槽，每个所述定位槽适于与预定安装面上的定位销相配。

9.根据权利要求1所述的用于硅盘的夹具组件，其特征在于，在所述基板上一个周向外侧边上设有彼此间隔的第一校准件和第二校准件，所述第一校准件和所述第二校准件的每一个具有沿所述中心线方向轴向延伸的校准平面。

10.根据权利要求1所述的用于硅盘的夹具组件，其特征在于，在所述基板上设有沿所述周向内壁彼此间隔地布置的多个限位槽，每个限位槽配置成可接纳固定在预定安装面上的限位块。