[发明专利]一种光刻机用混合光源发生装置

权利要求书

1.一种光刻机用混合光源发生装置，其特征在于，包括安装轴（1）、激光源（2）、LED光源安装架（5）；

安装轴（1）的底部安装有激光源（2），安装轴（1）的底部设置有底环（3），底环（3）的外壁与活动轴（4）的底端活动连接，活动轴（4）上设置有LED光源安装架（5），LED光源安装架（5）上环形阵列设置有多个不同功率的LED光源（25），活动轴（4）的上方套设有安装环（6），安装环（6）通过活动杆（7）与移动块（8）连接；

活动轴（4）沿着安装轴（1）环形阵列设置有多个。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机用混合光源发生装置，其特征在于，安装轴（1）内腔的顶部设置有驱动气缸（18），驱动气缸（18）的输出端与移动块（8）连接，移动块（8）环形阵列设置有多个限位活动块（19），限位活动块（19）与活动杆（7）活动连接。

3.根据权利要求2所述的一种光刻机用混合光源发生装置，其特征在于，安装轴（1）的侧壁上设置有与限位活动块（19）相适配的滑槽。

4.根据权利要求1所述的一种光刻机用混合光源发生装置，其特征在于，活动轴（4）的顶部设置有旋转机构，旋转机构（9）的固定箱（10）安装在活动轴（1）的顶端上，且固定箱（10）的顶部设置有驱动电机（11），驱动电机（11）的输出端与主转轴（12）连接，主转轴（12）上套设有主齿轮（13），主转轴（12）的四周环形阵列设置有多个副转轴（14），副转轴（14）上套设有副齿轮（15），主齿轮（13）与副齿轮（15）啮合连接；副转轴（14）的底端通过伸缩联轴器与活动轴（4）的顶端连接。

5.根据权利要求4所述的一种光刻机用混合光源发生装置，其特征在于，伸缩联轴器包括活动转轴（16）和活动套管（17），活动转轴（16）的一端与副转轴（14）的底端活动连接，活动转轴（16）的另一端延伸至活动套管（17）的内腔，并与活动套管（17）滑动连接，活动套管（17）远离活动转轴（16）的一端与活动轴（4）活动连接。

6.根据权利要求5所述的一种光刻机用混合光源发生装置，其特征在于，LED光源安装架（5）包括基架（20），基架（20）套设在活动轴（4）上，并间隔设置有两个，基架（20）上环形阵列设置有多个LED光源安装杆（21），LED光源安装杆（21）上安装有LED光源（25）。

7.根据权利要求6所述的一种光刻机用混合光源发生装置，其特征在于，基架（20）由多个连接杆环形阵列设置而成。

8.根据权利要求7所述的一种光刻机用混合光源发生装置，其特征在于，每组连接杆之间安装有一个LED光源（25）。