[发明专利]光束控制装置

权利要求书

1.一种光束控制装置,包括：基板以及在所述基板上层叠设置的镜面层、导电层、介电层和亚波长天线单元，

其中，所述亚波长天线单元和所述镜面层被配置为施加不同的电压；

在所述介电层和所述亚波长天线单元之间设置有第一粘结层。

2.根据权利要求1所述的光束控制装置，其中，在所述第一粘结层与所述介电层之间，且在所述第一粘结层与所述亚波长天线单元之间均形成有化学键，所述第一粘结层配置为将所述介电层和所述亚波长天线单元粘结。

3.根据权利要求1或2所述的光束控制装置，其中，所述第一粘结层的厚度为1纳米～50纳米，且所述第一粘结层的材料包括钛金属单质、铬金属单质、钨金属单质和铌金属单质中的至少之一。

4.根据权利要求1所述的光束控制装置，其中，所述第一粘结层具有导电性，所述第一粘结层在所述基板上的正投影和所述亚波长天线单元在所述基板上的正投影至少部分交叠。

5.根据权利要求1所述的光束控制装置，其中，所述第一粘结层具有绝缘性，所述亚波长天线单元在所述基板上的正投影位于所述第一粘结层在所述基板上的正投影之内。

6.根据权利要求1所述的光束控制装置，其中，在所述基板和所述镜面层之间设置有第二粘结层，所述第二粘结层配置为将所述基板和所述镜面层粘结。

7.根据权利要求6所述的光束控制装置，其中，在所述第二粘结层与所述基板之间，且在所述第二粘结层与所述镜面层之间均形成有化学键，以将所述基板和所述镜面层粘结。

8.根据权利要求6所述的光束控制装置，其中，所述第二粘结层的厚度为1纳米～1000纳米，且所述第二粘结层的材料包括钛金属单质、铬金属单质、钨金属单质和铌金属单质中的至少之一。

9.根据权利要求6～8中任一项所述的光束控制装置，其中，所述第一粘结层的材料和所述第二粘结层的材料相同或者不相同。

10.根据权利要求1所述的光束控制装置，其中，所述亚波长天线单元包括多条天线，每条所述天线的形状为棒状。

11.根据权利要求10所述的光束控制装置，其中，至少两个相邻的所述天线被配置为和所述镜面层形成不同的电压差。

12.根据权利要求1所述的光束控制装置，其中，所述亚波长天线单元包括多个天线，所述多个天线呈阵列排列。

13.根据权利要求12所述的光束控制装置，其中，在列方向上至少两个相邻的所述天线被配置为和所述镜面层形成不同的电压差，和/或，在行方向上至少两个相邻的所述天线被配置为和所述镜面层形成不同的电压差。

14.根据权利要求1所述的光束控制装置，其中，所述亚波长天线单元包括多条呈环形的天线，多条所述天线呈同心圆排列。

15.根据权利要求14所述的光束控制装置，其中，至少两条相邻的所述天线被配置为和所述镜面层形成不同的电压差。

16.根据权利要求10～15中任一项所述的光束控制装置，还包括至少两条电源线，所述多条天线和所述电源线分别通过连接部电连接，每条所述电源线和一条或者多条所述天线电连接，所述电源线配置为给对应的所述天线施加电压。

17.根据权利要求16所述的光束控制装置，其中，在所述亚波长天线单元和所述电源线之间设置有绝缘层，所述连接部设置在贯穿所述电源线和所述绝缘层的过孔结构中。