[发明专利]阴极保护下超声波辅助去除不锈钢表面铂金属的化学方法

权利要求书

1.阴极保护下超声波辅助去除不锈钢表面铂金属的化学方法，其特征是：步骤如下，

步骤S1，硅片预处理：将待处理的硅片浸泡脱脂剂去除表面有机油膜；

步骤S2,配置化学药水：配置70%浓度的硝酸溶液，维持温度25-30℃之间，向其中添加氯化钠粉末，边加边搅拌，直至不能溶解为止，然后取上层澄清溶液倒入超声波清洗子槽；

步骤S3,准备直流电源，使用钛或石墨作为阳极板，插入子槽，使用钛质夹子作为阴极，夹取硅片后放入子槽，开启电源，施加0.6V电压，以观测到硅片表层铂金属持续溶解为标准；

步骤S4，开启超声波，以设定频率和间隔进行震荡，超声频率为37.5±0.5kHz进行，气压为93.831-96.665kPa，时间为8分钟；

步骤S5，清洗过程根据情况取出部件，采用压缩空气对表面疏松污染物清吹；

步骤S6，铂金属去除干净后用清水冲洗部件，烘干，烘干温度为75-80℃，烘干时间为1-2h。