[发明专利]一种具有异形汇流条的声表面波谐振器

说明书

本发明公开了一种具有异形汇流条的声表面波谐振器，属于声表面谐振器优化技术领域，包括两个反射栅、叉指电极、两个汇流条，所述反射栅分别设置在所述汇流条、叉指电极的两侧，所述叉指电极设置在两个所述汇流条之间，并与两侧的所述反射栅相互平行，两个汇流条中至少有一个为异形汇流条。本发明通过各种汇流条的形状，解决了常规汇流条容易引发横向模式杂散的问题，从而改善了谐振器的性能；采用不同种形状的汇流条，解决常规谐振器形状单一的问题，设计上更加灵活，有利于射频芯片集成，空间利用率得到进一步提高。

技术领域

本发明涉及声表面谐振器优化技术领域，具体涉及一种具有异形汇流条的声表面波谐振器。

背景技术

如图1所示，声表面波谐振器的结构类型主要包括反射栅1、汇流条3、叉指电极2。压电材料的压电效应可以实现电信号和声波的相互转换。通过指条和压电材料相互作用激发声表面波，两侧的反射栅将表面波的能量束缚在叉指电极之间。声表面波的振幅随着基片材料的深度增加会指数级的递减。如图2所示，为普通型声表面波谐振器的截面结构示意图，主要包括电极4、压电材料5。如图3所示，为高性能型声表面波谐振器的截面结构示意图，主要包括电极6、压电材料7、低声速层8与衬底9。如图4所示，为温补型声表面波谐振器的截面结构示意图，主要包括温补层10、电极11、压电材料12。

目前声表面波谐振器的压电薄膜材料主要由铌酸锂(LiNbO3)、钽酸锂(LiTaO3)等压电材料。金属电极材料主要是铝、铜、铝化铜合金、铂金等金属。低声速层和温补层主要由二氧化硅(SiO2)、氮化硅(Si3N4)组成。这种类型的声表面波谐振器会有一个非常突出的缺点，会在汇流条之间形成横向驻波，即横向模式，如图5中的曲线14所示，横向模式表现在谐振器的电响应方面，会在主谐振点和反谐振点之间出现杂散，该杂散模式会影响通带内谐振曲线的平坦性，增大谐振器的损耗。因此，提出一种具有异形汇流条的声表面波谐振器。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于：如何解决现有声表面波谐振器会在汇流条之间形成横向驻波，即形成横向模式，会在主谐振点和反谐振点之间出现杂散，该杂散模式会影响通带内谐振曲线的平坦性，增大谐振器的损耗，提供了一种具有异形汇流条的声表面波谐振器。

本发明是通过以下技术方案解决上述技术问题的，本发明包括两个反射栅、叉指电极、两个汇流条，所述反射栅分别设置在所述汇流条、叉指电极的两侧，所述叉指电极设置在两个所述汇流条之间，并与两侧的所述反射栅相互平行，两个汇流条中至少有一个为异形汇流条。

更进一步地，两个所述汇流条均为异形汇流条，所述异形汇流条为倾斜汇流条，每个倾斜汇流条和水平方向的夹角α为汇流条的倾斜角，其中倾斜角为-7°至7°。

更进一步地，其中一个汇流条为异形汇流条，所述异形汇流条为V形或者倒V形汇流条，另一个汇流条为直线形汇流条。

更进一步地，两个汇流条均为异形汇流条，所述异形汇流条为V形或者倒V形汇流条，上下两个汇流条相互平行。

更进一步地，V形或者倒V形汇流条的斜边和水平方向的夹角为-10°至10°。

更进一步地，其中一个汇流条为异形汇流条，所述异形汇流条为圆弧形汇流条，另一个汇流条为直线形汇流条。

更进一步地，两个汇流条均为异形汇流条，所述异形汇流条为圆弧形汇流条，上下两个圆弧形汇流条对称设置。

更进一步地，两个汇流条均为异形汇流条，所述异形汇流条为圆弧形汇流条，上下两个圆弧形汇流条相互平行。

本发明相比现有技术具有以下优点：该具有异形汇流条的声表面波谐振器，在常规的声表面声波谐振器的基础上，对谐振器的汇流条形状进行优化设计并提出了多种设计方案；所提出的各种汇流条形状不仅可以抑制杂散模的产生，改善谐振器的性能，而且给出了极大的设计自由度，以便于灵活的适用于不同的应用要求，提升了空间利用率，值得被推广使用。

附图说明