[发明专利]一种真空密封型光学镜片调节装置

说明书

本发明提供了一种真空密封型光学镜片调节装置，设置在真空系统中的配套装置上，用于安装和调节光学镜片，其特征在于，包括：镜片安装部，用于安装光学镜片，包括镜片安装板和紧固件；密封固定部，用于将镜片安装部安装在真空系统中的配套装置上，包括法兰主板以及设置在法兰主板上的透视窗和密封组件；以及调节部，用于调节光学镜片的位置和角度，包括至少3个调节螺杆和至少2个拉力弹簧，其中，拉力弹簧的一端与镜片安装板连接，另一端与法兰主板连接，调节螺杆可移动地穿设在法兰主板上，一端与镜片安装板抵接，另一端用于供使用者在调节时捏握。

技术领域

本发明涉及光学领域，具体涉及一种真空密封型光学镜片调节装置。

背景技术

在使用激光装置时，常常需要对真空环境中的光学镜片进行多维调节。

在现有技术中，通常通过镜架上的调节螺杆将光学镜片调整好位置和角度后再进行真空密封，真空密封后不能再对光学镜片进行二次调节，安装有光学镜片的镜架放置在真空环境内，整个镜架需要满足真空环境中材料放气的要求，对材质的要求较高，增加制造成本，且占据空间较大。

在现有技术中，若要实时调节真空环境中的光路，则需使用电动调节机构替代常规机械调节螺杆来调节真空环境中光学镜片的角度和位置。此方式虽然可解决真空密封后镜片的调节问题，但结构较为复杂，大幅度增加装置的制造成本，占据空间较大，且同样对材质要求较高。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而进行的，目的在于提供一种真空密封型光学镜片调节装置。为此，本发明提供以下技术方案：

本发明提供了一种真空密封型光学镜片调节装置，设置在真空系统中的配套装置上，用于安装和调节光学镜片，其特征在于，包括：镜片安装部，用于安装光学镜片，包括镜片安装板和紧固件；密封固定部，用于将镜片安装部安装在真空系统中的配套装置上，包括法兰主板以及设置在法兰主板上的透视窗和密封组件；以及调节部，用于调节光学镜片的位置和角度，包括至少3个调节螺杆和至少2个拉力弹簧，其中，拉力弹簧的一端与镜片安装板连接，另一端与法兰主板连接，调节螺杆可移动地穿设在法兰主板上，一端与镜片安装板抵接，另一端用于供使用者在调节时捏握。

在本发明提供的真空密封型光学镜片调节装置中，还可以具有这样的特征：其中，法兰主板上开设有透视孔，透视窗包括窗口镜片和窗口法兰，窗口法兰用于将窗口镜片固定在透视孔内。

在本发明提供的真空密封型光学镜片调节装置中，还可以具有这样的特征：其中，窗口法兰靠近法兰主板的一侧为经过机械加工处理的光滑表面，真空密封方式为平面静密封。

在本发明提供的真空密封型光学镜片调节装置中，还可以具有这样的特征：其中，密封组件包括主板密封胶垫和窗口密封胶圈，主板密封胶垫设置在法兰主板上，窗口密封胶圈设置在透视孔内。

在本发明提供的真空密封型光学镜片调节装置中，还可以具有这样的特征：其中，镜片安装板为矩形，拉力弹簧设置为4个，4个拉力弹簧分别安装在镜片安装板的4个角部。

在本发明提供的真空密封型光学镜片调节装置中，还可以具有这样的特征：其中，调节螺杆设置为3个，3个调节螺杆之间的距离都相等。

在本发明提供的真空密封型光学镜片调节装置中，还可以具有这样的特征：其中，调节部还包括密封调节螺杆套，密封调节螺杆套穿设在法兰主板上，用于与调节螺杆密封连接。

在本发明提供的真空密封型光学镜片调节装置中，还可以具有这样的特征：其中，调节螺杆、密封调节螺杆套以及拉力弹簧沿垂直于法兰主板的方向设置。

在本发明提供的真空密封型光学镜片调节装置中，还可以具有这样的特征：其中，密封固定部还包括主板固定螺栓，法兰主板通过主板固定螺栓可拆卸地连接在配套装置上。

在本发明提供的真空密封型光学镜片调节装置中，还可以具有这样的特征：其中，法兰主板为不锈钢材质。