[发明专利]一种真空密封型光学镜片调节装置

权利要求书

1.一种真空密封型光学镜片调节装置，设置在真空系统中的配套装置上，用于安装和调节光学镜片，其特征在于，包括：

镜片安装部，用于安装所述光学镜片，包括镜片安装板和紧固件；

密封固定部，用于将所述镜片安装部安装在所述真空系统中的所述配套装置上，包括法兰主板以及设置在法兰主板上的透视窗和密封组件；以及

调节部，用于调节所述光学镜片的位置和角度，包括至少3个调节螺杆和至少2个拉力弹簧，

其中，所述拉力弹簧的一端与所述镜片安装板连接，另一端与所述法兰主板连接，

所述调节螺杆可移动地穿设在所述法兰主板上，一端与所述镜片安装板抵接，另一端用于供使用者在调节时捏握。

2.根据权利要求1所述的真空密封型光学镜片调节装置，其特征在于：

其中，所述法兰主板上开设有透视孔，

所述透视窗包括窗口镜片和窗口法兰，

所述窗口法兰用于将所述窗口镜片固定在所述透视孔内。

3.根据权利要求2所述的真空密封型光学镜片调节装置，其特征在于：

其中，所述窗口法兰靠近所述法兰主板的一侧为经过机械加工处理的光滑表面，真空密封方式为平面静密封。

4.根据权利要求2所述的真空密封型光学镜片调节装置，其特征在于：

其中，所述密封组件包括主板密封胶垫和窗口密封胶圈，

所述主板密封胶垫设置在所述法兰主板上，

所述窗口密封胶圈设置在所述透视孔内。

5.根据权利要求1所述的真空密封型光学镜片调节装置，其特征在于：

其中，所述镜片安装板为矩形，

所述拉力弹簧设置为4个，4个所述拉力弹簧分别安装在所述镜片安装板的4个角部。

6.根据权利要求1所述的真空密封型光学镜片调节装置，其特征在于：

其中，所述调节螺杆设置为3个，3个所述调节螺杆之间的距离都相等。

7.根据权利要求1所述的真空密封型光学镜片调节装置，其特征在于：

其中，所述调节部还包括密封调节螺杆套，

所述密封调节螺杆套穿设在所述法兰主板上，用于与所述调节螺杆密封连接。

8.根据权利要求7所述的真空密封型光学镜片调节装置，其特征在于：

其中，所述调节螺杆、所述密封调节螺杆套以及所述拉力弹簧沿垂直于所述法兰主板的方向设置。

9.根据权利要求1所述的真空密封型光学镜片调节装置，其特征在于：

其中，所述密封固定部还包括主板固定螺栓，

所述法兰主板通过所述主板固定螺栓可拆卸地连接在所述配套装置上。

10.根据权利要求1所述的真空密封型光学镜片调节装置，其特征在于：

其中，所述法兰主板为不锈钢材质。