[发明专利]用于测量被测器件的器件电流的装置和方法

权利要求书

1.一种用于测量被测器件DUT(1)的器件电流的装置(20，30)，所述装置(20，30)包括：

第一电路(21)，包括用于耦合到所述DUT(1)的第一连接端子的第一端子(22)，其中所述第一电路(21)被配置为针对所述第一端子(22)提供第一测试电压并且输出在所述第一端子(22)处感测的第一输出电压；

第二电路(31)，包括用于耦合到所述DUT(1)的第二连接端子的第二端子(32)，其中所述第二电路(31)被配置为针对所述第二端子(32)提供第二测试电压并且输出在所述第二端子(32)处感测的第二输出电压；以及

第三电路(41，51，61)，被配置为基于所述第一输出电压、所述第二输出电压、所述第一测试电压和所述第二测试电压确定所述DUT(1)的所述器件电流，

其中所述第一电路(21)和所述第二电路(31)相同。

2.根据权利要求1所述的装置(20，30)，其中所述第一电路(21)和所述第二电路(31)包括以相同方式接线的相同组件。

3.根据前述权利要求中任一项所述的装置(20，30)，其中所述第一电路(21)包括第一运算放大器(23)，所述第一运算放大器(23)被配置为基于第一参考电压和所述第一输出电压生成所述第一测试电压，其中第一电阻元件(24)被耦合在所述第一运算放大器(23)的输出与所述第一端子(22)之间。

4.根据权利要求3所述的装置(20，30)，其中所述第一电路(21)包括第一反馈放大器(25)，所述第一反馈放大器(25)被配置为在所述第一反馈放大器(25)的第一输入处接收所述第一参考电压，其中所述第一反馈放大器(25)的输出被耦合到所述第一反馈放大器(25)的第二输入，并且其中所述第一反馈放大器(25)的所述输出被耦合到所述第一运算放大器(23)的所述输出与所述第一端子(22)之间的第一节点(26)和以及耦合到所述第一端子(22)与所述第一运算放大器(23)的输入之间的第二节点(27)，所述第一运算放大器(23)的所述输入被配置为从所述第一端子(22)接收所述第一输出电压。

5.根据前述权利要求中任一项所述的装置(20，30)，其中所述第二电路(31)包括第二运算放大器(33)，所述第二运算放大器(33)被配置为基于第二参考电压和所述第二输出电压生成所述第二测试电压，其中第二电阻元件(34)被耦合在所述第二运算放大器(33)的输出与所述第二端子(32)之间。

6.根据权利要求5所述的装置(20，30)，其中所述第二电路(31)包括第二反馈放大器(35)，所述第二反馈放大器(35)被配置为在所述第二反馈放大器(35)的第一输入处接收所述第二参考电压，其中所述第二反馈放大器(35)的输出被耦合到所述第二反馈放大器(35)的第二输入，并且其中所述第二反馈放大器(35)的所述输出被耦合到所述第二运算放大器(33)的所述输出与所述第二端子(32)之间的第一节点(36)以及耦合到所述第二端子(32)与所述第二运算放大器(33)的输入之间的第二节点(37)，所述第二运算放大器(33)的所述输入被配置为从所述第二端子(32)接收所述第二输出电压(1)。

7.根据权利要求5或6所述的装置(20，30)，其中所述第一参考电压和所述第二参考电压表现出相等幅值和不同极性。

8.根据权利要求3至7中任一项所述的装置(20，30)，其中所述第三电路(51)被配置为通过以下方式确定所述DUT(1)的所述器件电流：

基于所述第一输出电压与所述第一测试电压之间的差值确定第一电压差；

基于所述第二输出电压与所述第二测试电压之间的差值确定第二电压差；

确定所述第一电压差和所述第二电压差的总和；

基于所述第一电压差和所述第二电压差的所述总和与所述第一电阻元件(24)和所述第二电阻元件(34)的总电阻的比率来确定所述DUT(1)的所述器件电流。