[发明专利]一种晶圆清洗装置及清洗系统

权利要求书

1.一种晶圆清洗装置，包括清洗装置本体（1），其特征在于：所述清洗装置本体（1）的顶部设置有上框组件（2），所述上框组件（2）的内部设置有清理机构（7），所述清洗装置本体（1）的内部设置有调整机构（8）；

所述上框组件（2）包括有立式电机（3），所述立式电机（3）的输出轴通过联轴器固定连接有一端贯穿并延伸至上框组件（2）内部的立轴（4），所述立轴（4）的外表面固定安装有旋转盘（5），所述旋转盘（5）的底部固定安装有气缸（6），立式电机（3）的输出轴通过联轴器带动立轴（4）转动，则旋转盘（5）旋转，带动气缸（6）进行环绕清扫；

所述清理机构（7）包括有清理盘（71），所述清理盘（71）的顶部与气缸（6）的底部固定安装，所述清理盘（71）的底部活动安装有刷板（72），所述刷板（72）的顶部固定安装有两个一端贯穿并延伸至清理盘（71）内部的插件（73），所述清理盘（71）的左右两侧均开设有定位孔（74），两个所述定位孔（74）的左右两侧均活动安装有一端贯穿并延伸至插件（73）外部的卡栓（75），所述清理盘（71）的顶部和底部均设置有定位组件（76）；

所述调整机构（8）包括有贴边仓（81），所述贴边仓（81）的外表面与清洗装置本体（1）的内壁固定安装，所述贴边仓（81）的内壁与清洗装置本体（1）的内壁之间活动安装有活动盘（82），所述活动盘（82）的左侧活动安装有一端贯穿并延伸至清洗装置本体（1）外部的安装杆（83），所述安装杆（83）的左侧固定安装有摇盘（84），所述摇盘（84）的左侧设置有锁把组件（85），所述清洗装置本体（1）的内部活动安装有两个轴杆（86），右侧所述轴杆（86）的右侧与清洗装置本体（1）的内腔右侧壁活动安装，左侧所述轴杆（86）的左侧与活动盘（82）的右侧固定连接，两个所述轴杆（86）的外表面均活动安装有尺板（87），两个所述尺板（87）的相对一侧均固定安装有尺寸盘（89），两个所述尺板（87）的内腔相背一侧分别与两个轴杆（86）的相对一侧之间固定安装有电动推杆（88）；

所述锁把组件（85）包括有锁板（8501），所述锁板（8501）的右侧与摇盘（84）的左侧固定安装，所述锁板（8501）的内腔左右两侧壁之间固定安装有滑移杆（8502），所述滑移杆（8502）的外表面活动安装有一端贯穿并延伸至清洗装置本体（1）内部的锁杆（8503），所述滑移杆（8502）的外表面活动安装有金属弹簧（8504），所述金属弹簧（8504）的左侧与锁板（8501）的内腔左侧壁固定安装，所述金属弹簧（8504）的右侧与锁杆（8503）的左侧固定安装。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：两个所述定位组件（76）均包括有两个定位仓（7601），同侧两个所述定位仓（7601）均开设于清理盘（71）的内部，两个所述定位孔（74）的内部均活动安装有两个跳板（7602），同侧两个所述跳板（7602）的相背一侧分别与同侧两个定位仓（7601）的内腔相对一侧壁之间固定安装有弹性杆（7604），同侧两个所述跳板（7602）的相对一侧均固定安装有一端贯穿并延伸至卡栓（75）内部的栓头（7603）。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：所述清洗装置本体（1）的内部设置有收集仓（9），所述收集仓（9）的左右两侧均设置有把手，所述收集仓（9）的内壁设置有风机（10），所述风机（10）的外表面与收集仓（9）的内壁相嵌合。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：所述清洗装置本体（1）的顶部开设有清洗入口，所述清洗装置本体（1）的正面设置有活动门，所述上框组件（2）的顶部开设有与立轴（4）相适配的轴孔，所述旋转盘（5）从上往下看呈矩形，所述刷板（72）的顶部设置有毛毡垫。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗装置，其特征在于：所述清洗装置本体（1）的左侧与贴边仓（81）的右侧均开设有环形槽，右侧所述环形槽的尺寸与轴杆的尺寸相适配，左侧所述环形槽的尺寸与安装杆（83）的尺寸大小相适配。