[发明专利]一种球面曲率测量仪

说明书

本发明公开了一种球面曲率测量仪，包括测量平台、被测球面放置工装、位置测量仪、激光干涉仪；被测球面放置工装活动设置于所述测量平台上，用于承载被测的球面镜片；位置测量仪设置于所述测量平台上，用于测量所述被测球面放置工装移动的位置；激光干涉仪设置于所述测量平台上，用于采集所述被测球面放置工装上的球面镜片移动时的图像。本发明的有益之处在于提供一种使被测工件的摆放更加方便，测量更加稳定精确的球面曲率测量仪。

技术领域

本发明涉及一种光学精密测量仪器，尤其涉及一种球面曲率测量仪。

背景技术

在光学生产的加工制造过程中大量需要对具有球面元件形状透镜的曲率半径进行测量，因此，球面元件的曲率半径测量是测试领域的重要课题之一。在利用机械接触式的测量方法中，一般采用样板，简易球径测微器或环形球径仪。对不同曲率半径的球面元件，通常需要配套样板，并只能固定使用，不可连续测量。环形球径仪也只能进行简单的测量，它的测量方法主要为“弓高弦长”法，它的测量原理主要是先由长度测微器测量出矢高，然后再根据公式算出球面元件的曲率半径。对这种测量仪器进行精度分析可知，测量精度是随着测环的半径变化的，也随着待测球面元件的曲率半径发生变化。目前解决这一矛盾的方法是准备多套不同半径的测环，针对不同的待测球面元件曲率半径和不同的测量精度使用不同的半径的测环，由于首先必须粗估待测球面元件曲率半径，然后做出判断，选用合适的测环，再进行细测，而且在测量不同的待测球面元件曲率半径时，须选用不同半径的测环，这样在面对大小不同的球面元件时，就不可避免地频繁地装卸和更换不同半径的测环，而且还引进了很多的随机误差和人为误差，大大降低了测量精度。由于不同半径的测环数目有限，一般只有几套固定半径的测环，因此测量待测球面元件时，不可能所有的待测球面元件的测量精度都能达到所期望的最高精度。

发明内容

本发明的目的是提供一种使被测工件的摆放更加方便，测量更加稳定精确的球面曲率测量仪。

本发明为实现上述发明目的采用如下技术方案：

本发明提供了一种球面曲率测量仪，包括：

测量平台；

被测球面放置工装，活动设置于所述测量平台上，用于承载被测的球面镜片；

位置测量仪，设置于所述测量平台上，用于测量所述被测球面放置工装移动的位置；

激光干涉仪，设置于所述测量平台上，用于采集所述被测球面放置工装上的球面镜片移动时的图像。

进一步地，所述位置测量仪为激光测距仪，所述激光测距仪设置于所述测量平台的底部，所述激光干涉仪设置于所述测量平台的顶部，且所述被测球面放置工装在所述激光测距仪与所述激光干涉仪之间活动。

进一步地，所述位置测量仪为光栅尺，所述光栅尺沿所述被测球面放置工装的活动轨迹的方向设置于所述测量平台上，用于测量所述被测球面放置工装移动的位置。

进一步地，所述球面曲率测量仪还包括滑台模组，所述滑台模组沿所述被测球面放置工装的活动轨迹的方向设置于所述测量平台上，所述被测球面放置工装滑动设置于所述滑台模组上。

进一步地，所述测量平台沿所述被测球面放置工装的活动轨迹的方向环绕有配重带，所述配重带与所述被测球面放置工装相连。

进一步地，所述测量平台的顶部和底部分别设置有与所述配重带相配合的换向轮。

进一步地，所述球面曲率测量仪还包括一驱动机构，所述驱动机构用于驱动所述被测球面放置工装在所述测量平台上活动。

进一步地，所述球面曲率测量仪还包括固定支架，所述固定支架用于支撑所述测量平台。

本发明的有益之处在于：提供一种使被测工件的摆放更加方便，测量更加稳定精确的球面曲率测量仪。

附图说明