[发明专利]电弧蒸发装置有效
| 申请号： | 202210093029.3 | 申请日： | 2022-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN114411100B | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 朱国朝;刘琴铭;朱敏杰;袁安素 | 申请（专利权）人： | 纳狮新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 林斯凯 |
| 地址： | 314200 浙江省嘉兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电弧 蒸发 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种电弧蒸发装置，其特征在于，包括：
腔室；
夹具装置，设置于所述腔室中，经配置以夹取待加工工件，其中所述待加工工件包括带状工件，所述夹具装置呈现螺旋状结构以使所述待加工工件以螺旋状放置在所述夹具装置中；
阴极弧源装置，设置于所述腔室中并设置于所述夹具装置上方，所述阴极弧源装置包括经配置以作为靶材的第一阴极弧源、第二阴极弧源以及第三阴极弧源；
其中所述第一阴极弧源、所述第二阴极弧源和所述第三阴极弧源设置于不同水平位面，且所述第一阴极弧源、所述第二阴极弧源和所述第三阴极弧源在垂直方向上等距设置；
其中所述第一阴极弧源与水平位面的夹角在15-45度的范围，且所述第一阴极弧源呈现圆盘状；
其中所述圆盘的直径在30-160毫米的范围；
其中所述第一阴极弧源和所述第二阴极弧源中距离所述夹具装置较近者所加载的弧电流高于所述第一阴极弧源和所述第二阴极弧源中距离所述夹具装置较远者所加载的弧电流。
2.如权利要求1所述的电弧蒸发装置，其特征在于，所述第一阴极弧源与水平位面的夹角为40度。
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