[发明专利]镀膜设备和镀膜设备的控制方法有效
| 申请号： | 202210080411.0 | 申请日： | 2022-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN114411110B | 公开（公告）日： | 2023-04-14 |
| 发明（设计）人： | 王鹏兵;渠欣;马辉;聂平岩 | 申请（专利权）人： | 苏州中科科仪技术发展有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/52;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京布瑞知识产权代理有限公司 11505 | 代理人： | 周达 |
| 地址： | 215163 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 镀膜 设备 控制 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种镀膜设备的控制方法，其特征在于，所述方法包括：
启动第一抽气设备为所述镀膜设备的负压腔和质谱检测装置提供负压；
在所述负压腔和所述质谱检查装置的压力达到第一阈值的情况下，启动第二抽气设备；其中，所述第二抽气设备的向所述质谱检测装置提供负压；所述第一抽气设备的功率小于所述第二抽气设备；
在所述质谱检测装置中的压力达到第二阈值的情况下，启动所述质谱检测装置。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述负压腔的压力达到第一阈值的情况下，启动第二抽气设备的步骤中，还包括：
在所述负压腔的压力达到第三阈值的情况下，启动第三抽气设备；其中，所述第三抽气设备为所述负压腔提供负压，所述第三抽气设备的功率高于所述第一抽气设备。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，检测完成后，依次关闭所述质谱检测装置，关闭所述第三抽气设备、所述第二抽气设备，关闭所述第一抽气设备。
4.一种镀膜设备，其特征在于，包括应用如权利要求1至3任一所述的镀膜设备的控制方法。
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