[发明专利]一种镀膜光学反射镜的测试装置及其方法

权利要求书

1.一种镀膜光学反射镜的测试装置，其特征在于，包括：

干涉仪和高真空低冷环境模拟舱，其中，

所述干涉仪用于测试镀膜光学反射镜的面型并判断光学反射镜的膜层是否正常；

所述高真空低冷环境模拟舱用于为待测镀膜光学反射镜提供测试环境。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括安装在高真空低冷环境模拟舱的舱壁上的光学窗口、热沉液氮制冷系统、液氮制冷管和液氮冷阱，其中，

所述光学窗口用于使干涉仪发出的光束入射到待测镀膜光学反射镜上，

所述热沉液氮制冷系统用于为高真空低冷环境模拟舱制冷，并为液氮冷阱提供液氮，

所述液氮制冷管用于为所述待测镀膜光学反射镜制冷降温，

所述液氮冷阱用于为所述液氮制冷管提供液氮。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，在所述真空低冷环境模拟舱的舱壁靠近所述待测镀膜光学反射镜一侧且与所述光学窗口对应设置的光学窗口挡板，以及在所述热沉液氮制冷系统的侧壁靠近所述待测镀膜光学反射镜一侧且与光学窗口挡板对应设置的热沉开孔挡板，

所述光学窗口挡板用于防止光学窗口结霜结露，

所述热沉开孔挡板用于保证低温环境均匀性。

4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述液氮制冷管盘绕在待测镀膜光学反射镜背面，且与液氮冷阱连接。

5.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述光学窗口挡板在对所述待测镀膜光学反射镜进行测试时打开。

6.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述热沉开孔挡板在对所述待测镀膜光学反射镜进行测试时打开。

7.一种镀膜光学反射镜的测试方法，其特征在于，包括：

干涉仪发出的光束入射到高真空低冷环境模拟舱内的待测镀膜光学反射镜上，

经过所述待测镀膜光学反射镜反射后，形成干涉条纹并被干涉仪接收，

通过测量所述形成的干涉条纹，得到所述待测镀膜光学反射镜的面型参数，并判断所述待测镀膜光学反射镜的反射膜层是否出现开裂或者脱模。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述热沉液氮制冷系统为高真空低冷环境模拟舱制冷，

所述液氮制冷管为所述待测镀膜光学反射镜制冷降温，

所述液氮冷阱为所述液氮制冷管提供液氮。

9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，在对所述镀膜光学反射镜进行测试时，光学窗口挡板和热沉开孔挡板打开，以使得干涉仪发出的光束通过光学窗口入射到高真空低冷环境模拟舱内的待测镀膜光学反射镜上。