[发明专利]测量方法及系统、设备和存储介质在审

专利信息
申请号: 202210074803.6 申请日: 2022-01-21
公开(公告)号: CN116524171A 公开(公告)日: 2023-08-01
发明(设计)人: 陈鲁;王紫媛;吕肃;黄有为;张嵩 申请(专利权)人: 深圳中科飞测科技股份有限公司
主分类号: G06V10/24 分类号: G06V10/24;G06V10/25;G06V10/74
代理公司: 上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327 代理人: 吴凡
地址: 518109 广东省深圳市龙华区大浪街*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 测量方法 系统 设备 存储 介质
【权利要求书】:

1.一种测量方法,其特征在于,用于对待测标记进行测量,所述待测标记具有感兴趣区域,所述测量方法包括:

获取所述待测标记的检测图像和模板图像,所述模板图像中具有检测范围,且所述模板图像包括第一感兴趣区域相对于所述检测范围的预设位置关系,所述第一感兴趣区域为所述待测标记的感兴趣区域在所述模板图像中的区域;

利用所述模板图像对所述检测图像进行感兴趣区域定位处理,所述感兴趣区域定位处理包括:

将所述检测图像与所述检测范围内的模板图像进行匹配处理,在所述检测图像中,获取与所述检测范围内的模板图像具有最大相似度的区域作为匹配区域,所述匹配区域的检测图像作为匹配图像;

根据所述模板图像中第一感兴趣区域相对于所述检测范围的预设位置关系,在所述检测图像中确定第二感兴趣区域,所述第二感兴趣区域为所述待测标记的感兴趣区域在所述检测图像中的区域,所述第二感兴趣区域内的检测图像作为感兴趣图像,所述感兴趣图像与所述匹配图像的相对位置关系与所述预设位置关系相同。

2.如权利要求1所述的测量方法,其特征在于,所述模板图像的整个区域作为检测范围;利用所述模板图像对所述检测图像进行感兴趣区域定位处理的过程中,利用整个区域的所述模板图像对所述检测图像进行感兴趣区域定位处理;

或者,所述检测范围包括多个子检测范围,每个所述子检测范围位于所述模板图像的局部区域中,且任一所述子检测范围涵盖部分待测标记的图像;利用所述模板图像对所述检测图像进行感兴趣区域定位处理的过程中,分别利用各个所述子检测范围内的模板图像,对所述检测图像进行感兴趣区域定位处理。

3.如权利要求2所述的测量方法,其特征在于,分别利用各个所述子检测范围内的模板图像,对所述检测图像进行感兴趣区域定位处理包括:

在所述模板图像中,对当前无需匹配的所述子检测范围进行遮挡;将所述检测图像与未被遮挡的所述子检测范围内的第一模板图像进行匹配处理;

或者,在所述模板图像中,截取出当前待匹配的所述子检测范围;将所述检测图像与截取出的所述子检测范围内的第一模板图像进行匹配处理。

4.如权利要求1所述的测量方法,其特征在于,所述待测标记包括第一标记和第二标记,且所述第一标记和第二标记分别具有各自对应的感兴趣区域;所述匹配区域的个数为多个;

所述检测范围包括第一子检测范围和第二子检测范围,所述第一子检测范围内具有所述第一标记的图像,所述第二子检测范围内具有所述第二标记的图像,且所述第一子检测范围和第二子检测范围分别涵盖所述第一标记对应的第一感兴趣区域、以及所述第二标记对应的第一感兴趣区域;

利用所述模板图像对所述检测图像进行感兴趣区域定位处理的过程中,分别利用所述第一子检测范围内的模板图像和所述第二子检测范围内的模板图像,对所述检测图像进行感兴趣区域定位处理,其中,

利用所述第一子检测范围内的模板图像对所述检测图像进行感兴趣区域定位处理包括:将所述检测图像与所述第一子检测范围内的模板图像进行匹配处理,在所述检测图像中获取与所述第一子检测范围内的模板图像具有最大相似度的区域,作为与所述第一子检测范围相对应的匹配区域;

利用所述第二子检测范围内的模板图像对所述检测图像进行感兴趣区域定位处理包括:将所述检测图像与所述第二子检测范围内的模板图像进行匹配处理,在所述检测图像中获取与所述第二子检测范围内的模板图像具有最大相似度的区域,作为与所述第二子检测范围相对应的匹配区域。

5.如权利要求4所述的测量方法,其特征在于,所述第一标记和第二标记由不同工艺形成,或者,所述第一标记和第二标记位于不同层,所述第一标记在所述第二标记所在层的正投影位于所述第二标记内侧;

将所述检测图像与所述第二子检测范围内的模板图像进行匹配处理包括:对所述模板图像的第一子检测范围内的图像信息进行遮挡,未被遮挡的部分作为第一模板图像;将所述检测图像与所述第一模板图像进行匹配处理;

将所述检测图像与所述第一子检测范围内的模板图像进行匹配处理包括:截取出所述模板图像的第一子检测范围,作为第二模板图像,或者,对所述模板图像的第二子检测范围内的图像信息进行遮挡,未被遮挡的部分作为第二模板图像;将所述检测图像与所述第二模板图像进行匹配处理。

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