[发明专利]一种太阳能电池基底制绒的方法在审
| 申请号： | 202210058794.1 | 申请日： | 2022-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN114420854A | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 寿春晖;吴铭;孙靖淞;杨熹;叶继春;闫宝杰;黄绵吉;盛江 | 申请（专利权）人： | 浙江浙能技术研究院有限公司;中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | H01L51/48 | 分类号： | H01L51/48;H01L51/42;H01L51/44;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 杭州九洲专利事务所有限公司 33101 | 代理人： | 张羽振 |
| 地址： | 311121 浙江省杭州市余*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 基底 方法 | ||
1.一种太阳能电池基底制绒的方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤1、将浓度为40％～50％的HF和去离子水混合，制备得到腐蚀液；将待制绒的干净玻璃放入腐蚀液中进行腐蚀，通过控制腐蚀时长，来获得设定尺寸的具备纳米尺度微结构的绒面；
步骤2、调节Ar浓度、沉积压强和溅射功率，利用磁控溅射镀膜设备在步骤1所得带有绒面的干净玻璃表面生长透明基底；
步骤3、采用热蒸镀法在透明基底上制备空穴传输层；
步骤4、在空穴传输层上通过旋涂法制备钙钛矿薄膜，形成共型钙钛矿层；
步骤5、采用热蒸镀法在共型钙钛矿层上制备电极层。
2.根据权利要求1所述太阳能电池基底制绒的方法，其特征在于：步骤1中控制HF和去离子水的体积比为(1：4)～(1:5)。
3.根据权利要求1所述太阳能电池基底制绒的方法，其特征在于：步骤1中控制腐蚀时长在3～5min内。
4.根据权利要求1所述太阳能电池基底制绒的方法，其特征在于：步骤2中透明基底为IZO，IZO薄膜沉积时，将磁控溅射工作功率设置为80W，沉积压强小于0.1Pa。
5.根据权利要求1所述太阳能电池基底制绒的方法，其特征在于：步骤3中空穴传输层为C60/BCP复合层。
6.根据权利要求1所述太阳能电池基底制绒的方法，其特征在于：步骤3中采用热蒸镀法制备空穴传输层，以及步骤5中采用热蒸镀法制备电极层时，蒸镀时的真空度低于4*10-6Pa，蒸镀速率为
7.根据权利要求1所述太阳能电池基底制绒的方法，其特征在于：步骤5中电极层为Ag电极。
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