[发明专利]一种多工位充排气设备以及充排气方法有效

专利信息
申请号: 202210051503.6 申请日: 2022-01-17
公开(公告)号: CN114388318B 公开(公告)日: 2022-12-20
发明(设计)人: 孙晓恺;刘继东;黄振宇 申请(专利权)人: 苏州中科科美科技有限公司
主分类号: H01J9/385 分类号: H01J9/385;H01J9/395;F04B37/14;F04B41/06;F04B49/22;F04B49/24
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省苏州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 多工位充 排气 设备 以及 方法
【权利要求书】:

1.一种多工位充排气设备,其特征在于:包括: 2个以上的工位、充气设备、排气设备;

所述工位包括:载物工具、容器组件,所述容器组件放置在载物工具上;

所述排气设备用于对工位上设置的容器进行抽气;

所述充气设备用于对工位上设置的容器进行充气;

所述容器组件,包括:m行×n列个容器,m、n为大于等于1的自然数;

每个容器的连接口均连接有一级通气管,每行n个容器的一级通气管的末端均连接到二级通气管;所述二级通气管的数量为m个,在二级通气管上均安装有气阀;m个二级通气管的末端均连接到三级通气管。

充气设备,包括:q个充气控制单元;

所述充气控制单元包括:充气用一级管道、以及充气用一级管道上顺序连接的气瓶、减压阀、微调阀、流量计、1/4气动截止阀;

所述充气设备,还包括:薄膜规、充气用二级管道、充气用三级管道、充气用三级管道充气阀、充气用二级管道充气阀;

q个充气控制单元的充气用一级管道的末端均连接到充气用二级管道;

在充气用二级管道上设置有充气用二级管道充气阀;

充气用二级管道的末端连接有x个充气用三级管道,在充气用三级管道上设置有充气用三级管道充气阀;

所述薄膜规设置在任意一个充气用三级管道上设置上,薄膜规设置在充气用三级管道充气阀的进气口的内侧。

2.根据权利要求1所述的多工位充排气设备,其特征在于:排气设备,包括:真空泵、隔断放气阀、前级阀、分子泵、插板阀、电离规、第一电阻规、旁抽阀、第二电阻规、预抽阀、主抽阀;

还包括:排气用第一管道、排气用第二管道、排气用第三管道、排气用第四管道、排气用第五管道;

所述真空泵与排气用第一管道连接,在第一管道上安装有隔断放气阀、第一电阻规;

第一管道分别与排气用第二管道、排气用第三管道连接;

在排气用第三管道上安装有旁抽阀,在排气用第二管道上安装有前级阀、分子泵、插板阀、电离规;

排气用第二管道、排气用第三管道均与排气用第四管道的一端连通;

排气用第四管道上设置:第二电阻规、预抽阀;

排气用第四管道的另一端分别连接x个排气用第五管道;在排气用第五管道上均设置有主抽阀。

3.根据权利要求2所述的多工位充排气设备,其特征在于:容器组件与充气设备的配合设计:x个充气用三级管道与x个三级通气管一一对应连通。

4.根据权利要求3所述的多工位充排气设备,其特征在于:容器组件与排气设备的配合设计:x个排气用第五管道分别x个三级通气管一一对应连接。

5.根据权利要求4所述的多工位充排气设备,其特征在于:充气设备、排气设备的配合设计:排气用第四管道与充气用二级管道之间连接设置有气路阀。

6.一种充排气方法,其采用如权利要求1至5任意一项所述的多工位充排气设备,所述容器为灯管,包括如下步骤:

其特征在于:

a. 排气:

b. 充气:

(1)排气设备的所有阀门均保持关闭;

(2)打开充气用二级管道充气阀,预定的充气用三级管道充气阀;

(3)q个充气控制单元按照预设的需求打开,为容器进行充气:

在充气时,其采用如下方法:

在容器内充入A气体,已知其目标充气压力为O pa,充入A气体前容器内的气力为Y pa;

A气体的气源与容器之间连接有流量计:通过控制流量计的开度为控制气体充气的快慢;

已知A气体的流量计的开度最大值为Z;随着充气压力的增加,流量计的实际开度R=Z×K,K表示开度控制系数,其范围为[0,1];

其中,K 与当前容器内的气压X关系采用下述方法:

当O-YL时:

在X在[Y,O]时, K=[(O-X)/ O ]h

当O-YL时:

在X在[Y,O-L]时, K=1.0;

在X在[O-L,O]时, K=[(O-X)/ L ]h

其中,L取值在[220,270]之间,h取值在[1.5,1.9];

(4)完成所有工位上的容器的充气后,关闭步骤(2)打开的阀以及步骤(3)打开的阀,充气完成;

c. 封口:当设备完成对灯管的充排气作业之后,使用焊枪将灯管通气口烧化封结,可换下一批灯管继续重复上述操作。

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