[发明专利]柔性基板剥离装置及方法

说明书

本申请提供一种柔性基板剥离装置及方法，柔性基板剥离方法，包括以下步骤：放置形成有柔性基板的衬底基板于载物台上；利用激光对衬底基板进行至少两次扫描照射；其中，至少一次扫描照射中激光入射至衬底基板的入射角为40°至70°，以利用柔性基板剥离方法解决柔性显示装置画面显示黑点的技术问题。

技术领域

本申请涉及显示技术领域，具体涉及一种柔性基板剥离装置及方法。

背景技术

柔性显示装置具有可形变和弯曲性能，因而随着科技进步成为显示领域的主流。柔性显示装置通常包括柔性基板和衬底基板，其中，柔性基板的材料多选用有色聚酰亚胺。在涂布有耐高温聚酰亚胺薄膜的衬底基板上实施有源矩阵有机发光二级体各工艺流程，然后利用激光剥离技术使柔性基板和衬底基板分离。

采用激光照射的方法即激光剥离方法对柔性基板进行剥离时，激光入射至衬底基板并透过衬底基板照射在柔性基板的一表面上，由于聚酰亚胺薄膜对特定激光波长强吸收，柔性基板朝向衬底基板的表面被碳化，使得柔性基板与衬底基板之间的粘附力下降，从而实现柔性基板与衬底基板分离。

当衬底基板背向柔性基板的表面存在异物、腐蚀、凹坑、气泡及刮伤时，清洗无法将上述缺陷去除干净。当采用现有技术的方式将激光入射至衬底基板时，激光无法穿透衬底基板的缺陷或者直接被衬底基板的缺陷遮挡和散射。因而柔性基板对应缺陷的区域与衬底基板粘黏，在后续分离过程中柔性基板的表面受到应力撕扯，造成柔性基板的对应区域发生形变，甚至对该区域的像素结构造成不良影响。比如，造成该区域内的像素结构的薄膜晶体管遗留在衬底基板上，引起柔性显示装置显示画面时出现黑点的现象。

发明内容

本申请提供一种柔性基板剥离装置及方法，以解决柔性显示装置画面显示黑点的技术问题。

本申请提供一种柔性基板剥离方法，包括以下步骤：

放置形成有柔性基板的衬底基板于载物台上；

利用激光对衬底基板进行至少两次扫描照射；

其中，至少一次扫描照射中激光入射至衬底基板的入射角为40°至70°。

可选的，在所述利用激光对衬底基板进行至少两次扫描照射的步骤中，包括以下步骤：

利用第一激光以第一入射角方向入射至衬底基板的表面，对衬底基板进行第一次扫描照射，其中，第一入射角为7°至10°；

利用第二激光以第二入射角方向入射至衬底基板的表面，对衬底基板进行第二次扫描照射，其中，第二入射角为40°至70°。

可选的，在所述利用激光对衬底基板进行至少两次扫描照射的步骤中，包括以下步骤：

利用激光以第一入射角方向入射至衬底基板的表面，对衬底基板进行第一次扫描照射；

使载物台环绕竖直方向旋转160°至175°；

利用激光以第一入射角方向入射至衬底基板的表面，对衬底基板进行第二次扫描照射；

其中，第一入射角为40°至70°。

可选的，利用激光沿衬底基板的短边进行至少两次扫描照射。

可选的，激光的光束宽度为800μm。

可选的，在所述利用激光对衬底基板进行至少两次扫描照射步骤之前，还包括以下步骤：

清洁衬底基板的表面；

利用自动光学检测器检测衬底基板。

可选的，在所述利用自动光学检测器检测衬底基板步骤之后，还包括：

判断衬底基板上的缺陷尺寸大于或等于一预设阈值，若是，衬底基板流动至回收工位；