[发明专利]一种二维原子层材料应变场控制方法在审

专利信息
申请号: 202210050305.8 申请日: 2022-01-17
公开(公告)号: CN114497238A 公开(公告)日: 2022-05-13
发明(设计)人: 王雷 申请(专利权)人: 青岛科技大学
主分类号: H01L31/0216 分类号: H01L31/0216;H01L31/028;H01L31/032;H01L31/18;B82Y15/00;B82Y30/00;B82Y40/00
代理公司: 北京云嘉湃富知识产权代理有限公司 11678 代理人: 阮文
地址: 266061 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 二维 原子 材料 应变 控制 方法
【权利要求书】:

1.一种二维原子层材料应变场控制方法,其特征在于,包括以下步骤:

步骤1:在透明基底(4)上制备纳米吸光层(3)和二氧化硅纳米薄膜(2);

步骤2:把二维原子层材料(1)转移至所述二氧化硅纳米薄膜(2)表面;

步骤3:令聚焦激光束穿过所述透明基底辐照所述纳米吸光层(3),从而获得二氧化硅纳米鼓包,同时对二维原子层材料施加局域应变;

步骤4:通过控制聚焦激光束的移动轨迹、能量密度来对二维原子层材料施加复杂应变场,从而完成对二维原子层材料应变场的控制。

2.根据权利要求1所述的二维原子层材料应变场控制方法,其特征在于,所述透明基底为石英基底。

3.根据权利要求1所述的二维原子层材料应变场控制方法,其特征在于,所述纳米吸光层为金属纳米吸光层或非金属纳米吸光层。

4.根据权利要求3所述的二维原子层材料应变场控制方法,其特征在于,所述金属纳米吸光层为锡、铟金属纳米吸光层;其厚度为5~30nm。

5.根据权利要求3所述的二维原子层材料应变场控制方法,其特征在于,所述非金属纳米吸光层为聚苯乙烯纳米吸光层;其厚度为5~30nm。

6.根据权利要求1所述的二维原子层材料应变场控制方法,其特征在于,所述二氧化硅纳米薄膜为三氧化二铝或二氧化铪纳米薄膜,其厚度为10~100nm。

7.根据权利要求1所述的二维原子层材料应变场控制方法,其特征在于,所述二维原子层材料包括石墨烯、二硫化钼、二硒化钨二维原子层;其厚度为1~10个原子厚度;

当所述二维原子层材料为多层原子,则上下相邻原子层间为任意夹角,并且上下相邻原子层可为异质结构。

8.根据权利要求1所述的二维原子层材料应变场控制方法,其特征在于,所述聚焦激光束的波长根据具体用途在紫外至红外波段选择;聚焦光斑的尺寸在微米或亚微米范围;聚焦激光束发的入射角度为正入射;入射方向既可以从上表面入射,也可以从下表面入射。

9.根据权利要求1所述的二维原子层材料应变场控制方法,其特征在于,所述控制聚焦激光束的移动轨迹包括:移动所述转移有二维原子层材料的基底或者通过扫描振镜控制;所述聚焦激光束为连续激光或脉冲激光;激光功率在毫瓦量级。

10.根据权利要求1所述的二维原子层材料应变场控制方法,其特征在于,所述复杂应变场包括:均匀应变分布、线性变化型应变分布、二次曲线型应变分布、指数变化型应变分布。

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