[发明专利]一种二维原子层材料应变场控制方法在审
申请号: | 202210050305.8 | 申请日: | 2022-01-17 |
公开(公告)号: | CN114497238A | 公开(公告)日: | 2022-05-13 |
发明(设计)人: | 王雷 | 申请(专利权)人: | 青岛科技大学 |
主分类号: | H01L31/0216 | 分类号: | H01L31/0216;H01L31/028;H01L31/032;H01L31/18;B82Y15/00;B82Y30/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 北京云嘉湃富知识产权代理有限公司 11678 | 代理人: | 阮文 |
地址: | 266061 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 二维 原子 材料 应变 控制 方法 | ||
1.一种二维原子层材料应变场控制方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤1:在透明基底(4)上制备纳米吸光层(3)和二氧化硅纳米薄膜(2);
步骤2:把二维原子层材料(1)转移至所述二氧化硅纳米薄膜(2)表面;
步骤3:令聚焦激光束穿过所述透明基底辐照所述纳米吸光层(3),从而获得二氧化硅纳米鼓包,同时对二维原子层材料施加局域应变;
步骤4:通过控制聚焦激光束的移动轨迹、能量密度来对二维原子层材料施加复杂应变场,从而完成对二维原子层材料应变场的控制。
2.根据权利要求1所述的二维原子层材料应变场控制方法,其特征在于,所述透明基底为石英基底。
3.根据权利要求1所述的二维原子层材料应变场控制方法,其特征在于,所述纳米吸光层为金属纳米吸光层或非金属纳米吸光层。
4.根据权利要求3所述的二维原子层材料应变场控制方法,其特征在于,所述金属纳米吸光层为锡、铟金属纳米吸光层;其厚度为5~30nm。
5.根据权利要求3所述的二维原子层材料应变场控制方法,其特征在于,所述非金属纳米吸光层为聚苯乙烯纳米吸光层;其厚度为5~30nm。
6.根据权利要求1所述的二维原子层材料应变场控制方法,其特征在于,所述二氧化硅纳米薄膜为三氧化二铝或二氧化铪纳米薄膜,其厚度为10~100nm。
7.根据权利要求1所述的二维原子层材料应变场控制方法,其特征在于,所述二维原子层材料包括石墨烯、二硫化钼、二硒化钨二维原子层;其厚度为1~10个原子厚度;
当所述二维原子层材料为多层原子,则上下相邻原子层间为任意夹角,并且上下相邻原子层可为异质结构。
8.根据权利要求1所述的二维原子层材料应变场控制方法,其特征在于,所述聚焦激光束的波长根据具体用途在紫外至红外波段选择;聚焦光斑的尺寸在微米或亚微米范围;聚焦激光束发的入射角度为正入射;入射方向既可以从上表面入射,也可以从下表面入射。
9.根据权利要求1所述的二维原子层材料应变场控制方法,其特征在于,所述控制聚焦激光束的移动轨迹包括:移动所述转移有二维原子层材料的基底或者通过扫描振镜控制;所述聚焦激光束为连续激光或脉冲激光;激光功率在毫瓦量级。
10.根据权利要求1所述的二维原子层材料应变场控制方法,其特征在于,所述复杂应变场包括:均匀应变分布、线性变化型应变分布、二次曲线型应变分布、指数变化型应变分布。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于青岛科技大学,未经青岛科技大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202210050305.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种便于固定的多腔室避雷器
- 下一篇:监控方法、装置、电子设备及存储介质
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的