[发明专利]基于表面等离子体激元的波长选择全光开关

权利要求书

1.基于表面等离子体激元的波长选择全光开关，其特征在于，由基底层(1)和矩形金属层(2)组成，所述矩形金属层(2)紧贴于基底层(1)上方，在矩形金属层(2)上刻蚀与矩形金属层(2)等高的第一直波导(3)、第二直波导(4)、第三直波导(5)、第四直波导(6)和等边三角形谐振腔(7)，其中，第二直波导(4)和第四直波导(6)与矩形金属层(2)长边方向相同，第一直波导(3)和第三直波导(5)与矩形金属层(2)长边方向的夹角均为60°；在等边三角形谐振腔(7)内，还设置有与矩形金属层(2)等高且中心与等边三角形谐振腔(7)内心重合的矩形金属块(8)。

2.根据权利要求书1所述的基于表面等离子体激元的波长选择全光开关，其特征在于，尺寸限定如下：

所述矩形金属层(2)的尺寸为1160nm×530nm×75nm；

所述第一直波导(3)的宽度为50nm，与等边三角形谐振腔(7)的距离为d₁＝18nm；

所述第二直波导(4)的宽度为50nm，与等边三角形谐振腔(7)的距离为d₂＝20nm～50nm；

所述第三直波导(5)的宽度为50nm，与等边三角形谐振腔(7)的距离为d₃＝18nm；

所述第四直波导(6)的宽度为50nm，与等边三角形谐振腔(7)的距离为d₄＝10nm～40nm；

所述等边三角形谐振腔(7)的边长为484nm；

所述矩形金属块(8)的长h＝200nm，宽w＝20nm～50nm。

3.根据权利要求书1或2所述的基于表面等离子体激元的波长选择全光开关，其特征在于，所述基底层(1)为二氧化硅材料，所述矩形金属层(2)和矩形金属块(8)为银材料，所述第一直波导(3)、第二直波导(4)、第三直波导(5)、第四直波导(6)和等边三角形谐振腔(7)与空气连通。