[发明专利]用于NCVM真空镀膜产品的联合检测装置有效

专利信息
申请号: 202210029356.2 申请日: 2022-01-11
公开(公告)号: CN114413963B 公开(公告)日: 2023-10-20
发明(设计)人: 刘春雨 申请(专利权)人: 苏州市彩衣真空科技有限公司
主分类号: G01D21/02 分类号: G01D21/02
代理公司: 北京知果之信知识产权代理有限公司 11541 代理人: 高科
地址: 215144 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 用于 ncvm 真空镀膜 产品 联合 检测 装置
【权利要求书】:

1.一种用于NCVM真空镀膜产品的联合检测装置,包括工作台,其特征在于,还包括设置于工作台上的传送装置(1)、设置于工作台上的可见光检测装置(2)和设置于工作台上的电击穿检测装置(3),所述工作台的一端设置有具有分类功能的机械手(4),所述传送装置(1)上设置有多个连接杆(5)且所述连接杆(5)远离传送装置(1)的一端固定有定位架(6)。

2.根据权利要求1所述的用于NCVM真空镀膜产品的联合检测装置,其特征在于,所述机械手(4)包括固定于工作台上的支撑柱(7)、固定于支撑柱(7)上的旋转电机(8)和与旋转电机(8)输出轴固定连接的支撑板(9),所述支撑板(9)远离旋转电机(8)的一端固定有第一气缸(10),所述第一气缸(10)的伸缩杆上固定有安装板(11),所述安装板(11)上设置有吸盘组件(12)。

3.根据权利要求2所述的用于NCVM真空镀膜产品的联合检测装置,其特征在于,所述吸盘组件(12)包括穿透设置于安装板(11)上的多个升降杆(13)和固定于升降杆(13)上的真空吸盘(14),所述升降杆(13)的中部开设有与真空吸盘(14)相连通的通气孔(15),所述升降杆(13)的外部套设有第一弹簧(16),所述升降杆(13)的外部还套设有抵触块(17),所述第一弹簧(16)的两端分别与抵触块(17)和安装板(11)相接触。

4.根据权利要求1所述的用于NCVM真空镀膜产品的联合检测装置,其特征在于,所述传送装置(1)包括开设于工作台上的活动槽道(18)和开设于工作台两端的安装槽(19),所述安装槽(19)内转动设置有转轴(20),所述转轴(20)上套设有滚轮(21),所述活动槽内设置有传送带(22)且所述传送带(22)与滚轮(21)的外表面相贴合,所述传送带(22)与连接杆(5)固定连接,所述工作台的一侧开设有电机槽(23),所述电机槽(23)内设置有驱动电机(24)且所述驱动电机(24)的输出轴与一侧的转轴(20)固定连接。

5.根据权利要求1所述的用于NCVM真空镀膜产品的联合检测装置,其特征在于,所述可见光检测装置(2)包括固定于工作台上的安装柱(25)、设置于安装柱(25)远离工作台的一端固定有可见光发射器(26)和固定于工作台上的可见光接收器(27)。

6.根据权利要求1所述的用于NCVM真空镀膜产品的联合检测装置,其特征在于,所述电击穿检测装置(3)包括固定于工作台上的固定柱(28)、设置于固定柱(28)上的液提装置和设置于液提装置上的正极发生器(29)和负极接收器(30)。

7.根据权利要求6所述的用于NCVM真空镀膜产品的联合检测装置,其特征在于,所述液提装置包括固定于固定柱(28)上的平行架(31)、设置于平行架(31)上的上管道(32)和下管道(33)、与上管道(32)和下管道(33)相连通的连接管(40)和设置于连接管(40)上的进水管(34),所述上管道(32)内设置有密封塞(35),所述下管道(33)内设置有浮块(36),所述密封塞(35)上设置有第一固定杆(37),且所述固定杆与正极发生器(29)固定连接,所述浮块(36)上固定有第二固定杆(38),所述第二固定杆(38)与负极接收器(30)固定连接,所述浮块(36)上设置有泄压组件,所述平行架(31)上固定有扫描仪(39)。

8.根据权利要求7所述的用于NCVM真空镀膜产品的联合检测装置,其特征在于,所述泄压组件包括开设于浮块(36)上的通孔、开设于下管道(33)侧壁上的排水孔(41)和固定于排水孔(41)内的L型出水管(42),所述L型出水管(42)的竖直管道穿过通孔且与通孔滑动配合。

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