[发明专利]一种高效抛光装置及化学抛光方法

权利要求书

1.一种高效抛光装置，包括基座(1)、支撑架(2)、导向机构(3)、伸缩机构(4)和电机(5)，所述支撑架(2)固定在基座(1)的上方，为导向机构(3)提供支撑，所述导向机构(3)的下方设置有伸缩机构(4)，通过导向机构(3)可对伸缩机构(4)的水平位置进行控制，所述伸缩机构(4)的下方连接有电机(5)；

其特征在于：所述电机(5)的下方设置有第一安装块(6)，且电机(5)通过输出轴(501)驱动第一安装块(6)的旋转，所述第一安装块(6)的外侧设置有第一抛光盘(7)，且第一抛光盘(7)的下方设置有抛光件(8)，第一安装块(6)旋转时带动第一抛光盘(7)旋转对抛光件(8)进行抛光处理，所述基座(1)的内部开设有液体存放池(9)，用于存放抛光剂，且液体存放池(9)的内部设置有第二抛光盘(11)，并且第二抛光盘(11)的内部中下方连接有第二安装块(12)，所述第二安装块(12)的下方设置有电机(5)，驱动第二安装块(12)的旋转，所述第一安装块(6)的下方开设有吸附腔(13)，且吸附腔(13)的内部设置有活塞(15)，并且活塞(15)的进行外侧表面和吸附腔(13)的内壁相贴合设置，所述活塞(15)的上方设置有位置控制机构，对活塞(15)在吸附腔(13)内的位置进行控制，所述第一抛光盘(7)的内侧设置有连接块(19)，且连接块(19)通过第二弹簧(20)和第一抛光盘(7)之间构成伸缩结构，所述第一安装块(6)的外侧表面开设有限位槽(21)，且限位槽(21)和连接块(19)之间构成上下滑动结构，并且限位槽(21)的内部设置有推板(23)，所述推板(23)位于连接块(19)的上方，且推板(23)的上方设置有第三弹簧(24)，为推板(23)提供下推力，推动第一抛光盘(7)向下移动，所述限位槽(21)的上设置有导出槽(28)，且导出槽(28)的内部呈倾斜状结构设计，并且导出槽(28)和限位槽(21)相互垂直设置；

所述第二抛光盘(11)和第一抛光盘(7)以及第二安装块(12)和第一安装块(6)呈上下对称设置，且第二抛光盘(11)和第一抛光盘(7)以及第二安装块(12)和第一安装块(6)的内部组成结构相同。

2.根据权利要求1所述的一种高效抛光装置，其特征在于：所述第一抛光盘(7)和第一安装块(6)之间构成嵌套连接，且第一抛光盘(7)通过连接块(19)和限位槽(21)的连接与第一安装块(6)保持同步旋转。

3.根据权利要求1或2所述的一种高效抛光装置，其特征在于：所述第一抛光盘(7)的最低点低于第一安装块(6)的最低点，避免抛光时第一安装块(6)和抛光件(8)进行接触。

4.根据权利要求1所述的一种高效抛光装置，其特征在于：所述液体存放池(9)的下方设置有排液口(10)，且液体存放池(9)的底部呈倾斜状结构设计。

5.根据权利要求1所述的一种高效抛光装置，其特征在于：所述第一安装块(6)的下端粘接有橡胶垫(14)，提高吸附腔(13)和抛光件(8)之间的贴合紧密性。

6.根据权利要求1所述的一种高效抛光装置，其特征在于：所述第一安装块(6)的下方开设有引导槽(22)，且引导槽(22)位于限位槽(21)的下方，并且引导槽(22)的上方呈倾斜状结构设计，引导连接块(19)和限位槽(21)的连接，所述限位槽(21)在第一安装块(6)上等角度分布。

7.根据权利要求1所述的一种高效抛光装置，其特征在于：所述位置控制机构包括第一弹簧(16)、磁块(17)和电磁铁(18)；

第一弹簧(16)，设置在活塞(15)的外端，为活塞(15)提供复位推力；

磁块(17)，固定在活塞(15)的外端，和且磁块(17)和第一安装块(6)之间构成上下滑动结构；

电磁铁(18)，设置在磁块(17)的外侧，通电后产生磁力对磁块(17)进行吸引。