[发明专利]聚合性化合物、活性能量射线固化性树脂组合物、固化物、抗蚀剂用组合物和抗蚀膜

权利要求书

1.一种聚合性化合物，其用下述通式(1)表示，

所述通式(1)中，X表示具有芳香环结构和聚合性不饱和基团的结构部位，并且，所述通式(1)中的3个X任选分别为相同结构或不同结构。

2.根据权利要求1所述的聚合性化合物，其中，所述通式(1)中的X为下述通式(2-1)、(2-2)、(2-3)或(2-4)所示的结构部位，

所述通式(2-1)～(2-4)中，Y为直接键合、醚键或酰胺键，Z为具有聚合性不饱和基团的结构部位，R¹为脂肪族烃基、烷氧基或卤素原子；所述结构式中，m为1～5的整数，n为0～4的整数，m+n为5以下；p为1～7的整数，q为0～6的整数，p+q为7以下；所述通式(2-1)～(2-4)中存在的多个R¹和(Y-Z)基任选分别相同或不同；所述通式(2-2)和(2-4)中，R¹和(Y-Z)基任选键合于萘环的任意碳原子。

3.一种聚合性化合物，其将三羟基苯与环氧卤丙烷的反应产物(A)和含聚合性不饱和基团的芳香族化合物(B)作为反应原料。

4.根据权利要求3所述的聚合性化合物，其中，所述含聚合性不饱和基团的芳香族化合物(B)为含聚合性不饱和基团的酚性化合物(B1)或含聚合性不饱和基团的芳香族羧酸化合物(B2)。

5.一种聚合性化合物，其将三羟基苯与环氧卤丙烷的反应产物(A)、含聚合性不饱和基团的非芳香族化合物(C)、和连接所述反应产物(A)与所述含聚合性不饱和基团的非芳香族化合物(C)的芳香族化合物(D)作为反应原料。

6.根据权利要求5所述的聚合性化合物，其中，所述含聚合性不饱和基团的非芳香族化合物(C)为含聚合性不饱和基团的脂肪族卤化物(C1)，所述芳香族化合物(D)为具有羧基的酚性化合物(D1)。

7.一种活性能量射线固化性树脂组合物，其含有：

权利要求1～6中任一项所述的聚合性化合物、

光聚合引发剂、和

有机溶剂。

8.一种固化物，其为权利要求7所述的活性能量射线固化性树脂组合物的固化物。

9.一种抗蚀剂用组合物，其含有权利要求1～6中任一项所述的聚合性化合物。

10.一种抗蚀膜，其是使权利要求9所述的抗蚀剂用组合物固化而得到的。