[发明专利]激光干涉光刻设备和方法在审
| 申请号： | 202180073877.1 | 申请日： | 2021-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN116472496A | 公开（公告）日： | 2023-07-21 |
| 发明（设计）人： | 李文迪;甘斫非;闵思怡 | 申请（专利权）人： | 香港大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 纪雯 |
| 地址： | 中国香港*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光 干涉 光刻 设备 方法 | ||
【权利要求书】：
PCT国内申请，权利要求书已公开。
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