[发明专利]驱动元件以及驱动装置

说明书

本发明提供一种驱动元件以及驱动装置。驱动元件(1)具备：基部(13)；可动部(30)，在与转动轴(R0)平行的方向上与基部(13)分离；第1连接部(14)以及第2连接部(15)，将基部(13)和可动部(30)连接；一对第1臂部(11a、11b)，夹着转动轴(R0)，在与转动轴(R0)平行的第1方向上延伸；一对第2臂部(12a、12b)，夹着转动轴(R0)，在与第1方向相反的第2方向上延伸；连结部(16a、16b)，将一对第1臂部(11a、11b)及一对第2臂部(12a、12b)连结于第1连接部(14)及第2连接部(15)；压电驱动体(17a、17b、27a、27b)，配置于一对第1臂部(11a、11b)以及一对第2臂部(12a、12b)的至少一者。

技术领域

本发明涉及通过压电驱动体使可动部转动的驱动元件以及具备该驱动元件的驱动装置，例如，适合在通过配置于可动部的反射面使光进行扫描的情况下使用。

背景技术

近年来，开发了利用MEMS(Micro Electro Mechanical System，微机电系统)技术使可动部转动的驱动元件。在这种驱动元件中，将反射面配置于可动部，由此能够使入射到反射面的光以给定的摆角进行扫描。这种驱动元件例如搭载于平视显示器、头戴式显示器等图像投影装置。除此之外，在利用激光检测物体的激光雷达等中，也能够使用这种驱动元件。

例如，在以下的专利文献1中，记载了通过所谓的音叉振子使可动部转动的方式的驱动元件。在此，在沿着转动轴延伸的一对臂部分别配置压电驱动体。通过对这些压电驱动体分别施加相位相差180°(相反相位的)交流电压，从而一对臂部彼此在相反方向上伸缩。由此，可动部关于转动轴转动，与之相伴，配置于可动部的反射面转动。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2019/087919号

发明内容

发明要解决的问题

在上述结构的驱动元件中，优选每单位电压的可动部的摆角更大。此外，在该结构中，在对驱动元件进行驱动时，由于通过臂部的挠曲而产生的应力，在压电驱动体有可能引起损伤。该问题在为了扩大摆角而使一对臂部更大幅度地挠曲的情况下变得更为明显。

鉴于这样的问题，本发明的目的在于，提供一种驱动元件以及驱动装置，其能够进一步扩大可动部的摆角，并且能够抑制由于在驱动时产生的应力而在压电驱动体产生损伤。

用于解决问题的技术方案

本发明的第1方式涉及的驱动元件具备：基部；可动部，在与转动轴平行的方向上与所述基部分离；连接部，将所述基部和所述可动部连接；一对第1臂部，夹着所述转动轴，在与所述转动轴平行的第1方向上延伸；一对第2臂部，夹着所述转动轴，在与所述第1方向相反的第2方向上延伸；连结部，将所述一对第1臂部以及所述一对第2臂部连结于所述连接部；和压电驱动体，配置于所述一对第1臂部以及所述一对第2臂部的至少一者。

根据本方式涉及的驱动元件，通过设置一对第2臂部，从而能够抑制在压电驱动体驱动时产生于第1臂部以及第2臂部的扭曲以及应力，进而，能够扩大压电驱动体驱动时的可动部的摆角。因而，能够在扩大可动部的摆角的同时，抑制由于在驱动时产生的应力而在压电驱动体产生损伤。

本发明的第2方式涉及的驱动元件具备：基部；可动部，在与转动轴平行的方向上与所述基部分离；连接部，将所述基部和所述可动部连接；一对臂部，夹着所述转动轴，在与所述转动轴平行的第1方向上延伸；一对平衡调整部，夹着所述转动轴，在与所述第1方向相反的第2方向上延伸；连结部，将所述一对臂部以及所述一对平衡调整部连结于所述连接部；和压电驱动体，配置于所述一对臂部以及所述一对平衡调整部的至少一者。

根据本方式涉及的驱动元件，能够发挥与上述第1方式同样的效果。