[发明专利]用于氟测量的设备和方法

权利要求书

1.一种设备，包括：

限定反应腔的容器，所述反应腔被适配用于放置成与待采样的包括氟的混合气体源选择性地流体连通，所述容器包含金属氧化物，所述金属氧化物被布置为与所述混合气体中的所述氟反应以形成包括氧气的产物气体，所述容器还被适配用于放置成与惰性气体源选择性地流体连通；以及

氧气传感器，被配置为放置成与所述容器选择性地流体连通，以接收所述产物气体并感测所述产物气体中的氧气的量。

2.根据权利要求1所述的设备，其中所述容器进一步被适配用于放置成与真空源选择性地流体连通。

3.根据权利要求1所述的设备，其中所述金属氧化物包括氧化铝。

4.根据权利要求1所述的设备，其中待采样的包括氟的所述混合气体源包括激光放电室。

5.根据权利要求1所述的设备，其中所述惰性气体源包括氮气源。

6.一种设备，包括：

激光放电室；

限定反应腔的容器，所述反应腔被适配用于放置成与所述激光放电室选择性地流体连通，以接收待采样的包括氟的混合气体的样本，所述容器包含金属氧化物，所述金属氧化物被布置为与所述混合气体中的所述氟反应以形成包括氧气的产物气体；

惰性气体源，与所述容器选择性地流体连通；以及

氧气传感器，被配置为放置成与所述容器选择性地流体连通，以接收所述产物气体并感测所述产物气体内的氧气的量。

7.根据权利要求6所述的设备，其中所述容器还被适配用于放置成与真空源选择性地流体连通。

8.根据权利要求6所述的设备，其中所述金属氧化物包括氧化铝。

9.根据权利要求6所述的设备，其中待采样的包括氟的所述混合气体源包括激光放电室。

10.根据权利要求6所述的设备，其中所述惰性气体源包括氮气源。

11.根据权利要求6所述的设备，进一步包括：

气体维护系统，包括与所述激光放电室流体连接的气体供应系统，

控制系统，被连接到所述气体维护系统和检测设备、并被配置为执行以下操作：接收所述氧气传感器的输出并估计从所述气体放电室接收的所述混合气体中的氟浓度；基于混合气体中的所估计的氟浓度来确定是否应改变来自所述气体维护系统的所述气体供应系统的气体混合物中的氟浓度；以及向所述气体维护系统发送信号，以在对所述激光放电室的气体更新期间，改变从所述气体维护系统的所述气体供应系统供应到所述激光放电室的气体混合物中的氟的相对浓度。

12.一种方法，包括：

使用惰性气体的第一部分，将反应腔中的残余气体推送到传感器；

使用所述传感器来感测所述残余气体内的第一氧气浓度；

将来自激光放电室的混合气体的至少一部分供应到所述反应腔，其中所述混合气体包括氟；

使所述混合气体部分中的所述氟与所述反应室中的金属氧化物反应来形成包括氧气的产物气体；

使用所述惰性气体的第二部分，将所述反应腔中的所述产物气体推送到所述传感器；

感测所述产物气体内的第二氧气浓度；

基于所感测的第二氧气浓度，推断来自所述激光放电室的所述混合气体的所述部分中的所估计的氟浓度；以及

至少部分地基于所述第一氧气浓度和所估计的氟浓度来确定来自所述激光放电室的所述混合气体的所述部分中的经补偿的氟浓度。

13.根据权利要求12所述的方法，进一步包括：在使用所述传感器感测所述残余气体内的第一氧气浓度以及将来自激光放电室的混合气体的至少一部分供应到所述反应腔之间，将所述反应腔排空，其中所述混合气体包括氟。