[发明专利]电子模块在审
| 申请号： | 202180046070.9 | 申请日： | 2021-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN115777135A | 公开（公告）日： | 2023-03-10 |
| 发明（设计）人： | O.拉布;M.施瓦尔茨;S.基尔 | 申请（专利权）人： | 西门子股份公司 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 刘畅 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电子 模块 | ||
1.一种电子模块，具有至少一个具有衬底(120)的MEMS开关(110)并且具有至少一个半导体构件(270)，其中至少一个半导体构件(270)利用所述衬底(120)形成，并且与至少一个MEMS开关(110)连接，其中至少一个半导体构件(270)是或具有二极管，
并且其中，所述衬底由或利用绝缘体上硅晶圆和/或绝缘体上硅衬底形成。
2.根据前述权利要求所述的电子模块，其中，至少一个半导体构件(270)是借助衬底(120)的掺杂而形成的。
3.根据前述权利要求中任一项所述的电子模块，其中，所述二极管是pn二极管和/或肖特基二极管或PIN二极管。
4.根据前述权利要求中任一项所述的电子模块，其中，至少一个半导体构件(270)是或具有二极管的串联布置。
5.根据前述权利要求中任一项所述的电子模块，其中，至少一个半导体构件(270)是或具有二极管的并联布置。
6.根据前述权利要求中任一项所述的电子模块，其中，至少一个半导体构件(270)连接至少一个MEMS开关的源极接头(210)和漏极接头(220)。
7.根据前述权利要求中任一项所述的电子模块，其中，至少一个半导体构件将至少一个MEMS开关(110)的栅极接头(250，260)连接在一起。
8.根据前述权利要求中任一项所述的电子模块，其中，至少一个半导体构件(270)是到至少一个MEMS开关的源极接头(210)和/或漏极接头(220)和/或栅极接头(250，260)的馈线(170)的一部分。
9.根据前述权利要求中任一项所述的电子模块，其中，至少一个MEMS开关(110)具有弯曲元件(150)。
10.根据前述权利要求中任一项所述的电子模块，其中，所述弯曲元件(150)是弯曲梁。
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