[发明专利]PVD装置在审
| 申请号： | 202180030110.0 | 申请日： | 2021-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN115461489A | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | 清野拓哉;小田岛保志;渡边直树;户岛宏至;品田正人;宫下哲也 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 宋魏魏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | pvd 装置 | ||
1.一种PVD装置，具备：
腔室；
多个载置台，设置在上述腔室内，并分别能够在上表面载置至少一个基板；
第一靶保持部，能够保持靶，上述靶是暴露在上述腔室内的空间的靶，并针对一个上述载置台设置至少一个靶；
电力供给机构，经由上述第一靶保持部向上述靶供给电力；以及
屏蔽件，设置在上述腔室内，上述屏蔽件的一部分配置在多个上述载置台中的第一载置台与第二载置台之间、以及上述第一载置台上的第一处理空间与上述第二载置台上的第二处理空间之间。
2.一种PVD装置，具备：
腔室；
多个载置台，设置在上述腔室内，并分别能够在上表面载置至少一个基板；
第一靶保持部，能够保持靶，上述靶是暴露在上述腔室内的空间的靶，并针对一个上述载置台设置至少一个靶；
电力供给机构，经由上述第一靶保持部向上述靶供给电力；
多个磁铁，设置在设置上述靶的上述第一靶保持部的面的背面侧，并针对一个靶设置至少一个磁铁；以及
驱动机构，使多个上述磁铁沿着上述背面移动，
沿着上述磁铁的移动方向排列配置多个上述载置台，
上述第一靶保持部能够以多个上述靶沿着上述移动方向排列的方式保持多个上述靶，
上述驱动机构具有：
引导件，沿着上述移动方向延伸；
多个磁铁保持部，保持上述磁铁，并沿着上述引导件移动；以及
驱动部，使多个上述磁铁保持部沿着上述引导件往复移动。
3.根据权利要求1或2所述的PVD装置，其中，
上述第一靶保持部沿着多个上述载置台的排列方向延伸，能够保持多个上述靶，
上述电力供给机构通过向上述第一靶保持部供给电力而能够经由上述第一靶保持部向多个上述靶的每个上述靶供给电力。
4.根据权利要求1～3中任意一项所述的PVD装置，其中，
具备第二靶保持部，能够相对于一个上述载置台以与上述第一靶保持部不同的角度保持上述靶。
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